Hall-System – Hall-Koeffizient – Anorganika/Halbleiter
Indiumzinnoxid (ITO) – Hall-Koeffizient – spezifischer Widerstand – Mobilität
Indiumzinnoxid (ITO) ist ein Halbleiter, der für sichtbares Licht transparent ist und daher in vielen Anwendungsbereichen eingesetzt wird, in denen optisch transparente Halbleiter benötigt werden. Insbesondere Dioden, Mikroelektronik auf Glassubstraten oder unsichtbare Antennen und Sensoren enthalten häufig ITOs oder bestehen aus diesen.
App. Nr. 02-010-003 Hall-System – Hall-Koeffizient – Anorganika/Halbleiter
Die beiden Diagramme zeigen eine vollständige Messung des Hall-Koeffizienten, der Mobilität und des spezifischen Widerstands für zwei verschiedene ITO-Dünnschichtproben (beide mit einer Dicke von 185 nm) von Raumtemperatur bis 200 °C. Beide Proben wurden durch Sputterdeposition hergestellt. Die grüne Kurve des Hall-Koeffizienten ergibt mehr oder weniger einen konstanten Wert, während Mobilität (orange) und spezifischer Widerstand mit der Temperatur zunehmen.
