L’oxyde d’indium et d’étain (ITO) est un semi-conducteur transparent à la lumière visible et est donc utilisé dans de nombreux domaines d’application nécessitant des semi-conducteurs optiquement transparents. En particulier, les diodes, la microélectronique sur substrats de verre ou les antennes et capteurs invisibles contiennent ou sont souvent constitués d’ITO.
Ces deux graphiques présentent les résultats complets des mesures de la constante de Hall, de la mobilité et de la résistivité de deux échantillons différents de couches minces d’ITO (d’une épaisseur de 185 nm chacun), de la température ambiante à 200 °C.
Les deux échantillons ont été préparés par dépôt par pulvérisation cathodique. La courbe bleu foncé représentant la constante de Hall présente une valeur plus ou moins constante, tandis que la mobilité (en rouge) et la résistivité augmentent avec la température.
Instrument de mesure approprié
