HCS 1/10/100
Analyse de l’effet Hall

HCS 1/10/100
(HCS L36)

Caractérisation des semi-conducteurs et des dispositifs

HCS 1/10/100 (HCS L36) - Description

En bref

À quoi servent les systèmes Linseis HCS ?

Les systèmes Linseis HCS sont principalement utilisés pour caractériser les matériaux semi-conducteurs.

Quelles propriétés peuvent être mesurées avec ces systèmes ?

Ils peuvent déterminer la constante de Hall et la résistivité, ainsi que la concentration de porteurs de charge et les mobilités de Hall des échantillons qui en découlent.
L’unité de base de bureau est disponible en différentes configurations, qui peuvent être équipées, entre autres, de différents supports d’échantillons pour différentes géométries d’échantillons et exigences de température.

Quelles plages de température peuvent être couvertes par les systèmes Linseis HCS  ?

Une extension basse température en option pour l’utilisation d’azote liquide ainsi qu’une version haute température jusqu’à 800°C garantissent que tous les domaines d’application imaginables peuvent être couverts.
Les aimants permanents et électriques intégrés fournissent des champs magnétiques fixes ou variables allant jusqu’à près d’un tesla.

Comment fonctionne l’analyse logicielle associé aux HCS Linseis ?

Le logiciel associé, complet et basé sur Windows©, permet d’enregistrer facilement les courbes I-V et I-R ainsi que de mesurer et d’évaluer la mobilité de Hall, la conductivité électrique et la concentration de porteurs de charge.

Quels types d’échantillons peuvent être analysés par les systèmes HCS Linseis ?

Les systèmes Linseis HCS peuvent mesurer une grande variété de matériaux, y compris Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (type N & type P), mais aussi des couches métalliques, des oxydes métalliques et bien d’autres.
Nous nous ferons un plaisir de vous démontrer les performances de l’appareil en effectuant des mesures d’essai dans notre laboratoire d’application.


Fonctions de mesure des HCS 1/10 et 100 (HCS L36) :

  • Densité des porteurs de charge (couche [1/cm²]/ matériau plein [1/cm³])
  • Constante de Hall [cm³/C]
  • Mobilité de la réverbération [cm²/Vs]
  • Résistance de couche [Ω]
  • Résistance spécifique [Ωcm]
  • Conductivité électrique[S/cm]
  • Alpha (rapport entre la résistance horizontale et la résistance verticale)
  • Résistance magnétique
  • Coefficient Seebeck (µV/K)


Caractéristiques de l’appareil HCS :

  • Chambre de mesure étanche aux gaz, permettant des mesures dans des atmosphères définies ou des conditions de vide
  • Aimants de 120 mm de diamètre pour une homogénéité de champ maximale et une précision maximale (des échantillons jusqu’à 50 mm x 50 mm sont possibles)
  • Conception modulaire et évolutive du système
  • Version haute température jusqu’à 600°C/873K
  • Option d’éclairage par LED (plusieurs longueurs d’onde possibles)
  • Amplificateur de verrouillage en option pour des mesures avec un bruit minimal
  • Connexion pour l’utilisation de l’électronique de mesure externe
  • Logiciel intégré pour une utilisation conviviale
HCS 1/10/100

HCS 1/10/100 (HCS L36) - Caractéristiques uniques

HCS 1/10/100

Nombreuses possibilités de mesure: Détermination de la constante de Hall, de la résistivité
, de la concentration de porteurs de charge
et de la mobilité de Hall.

Large gamme de températures: possibilité de mesurer des températures cryogéniques (LN2) jusqu'à 600°C.

Conception modulaire du système: adaptable avec différents supports d'échantillons
et extensions de température.

Grande homogénéité de champ: aimants de 120 mm pour une précision maximale.

Logiciel intégré:
Utilisation conviviale
et analyse complète des données.

Vous avez des questions ? N'hésitez pas à nous appeler !

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Notre service est disponible du lundi au
jeudi de 8h à 16h
et vendredi de 8h à 12h.

Nous sommes là pour vous !

HCS 1/10/100 (HCS L36) - Spécifications

MODEL

HCS 1 (HCS L36 Basic)

Temperature range:From LN2 up to 600°C in various versions
-160°C (controlled cooling)
-196°C (cooling)
Magnet:Two permanent magnets with +/- 0.7T
Diameter of the rod 120 mm
for maximum uniformity (+/- 1% over 50mm)
Power supply:DC 1nA up to 125mA (8 decades / compliance +/- 12V)
Voltage measurement:DC low noise / low deviation 1μV up to 2500mV, 4 decades gain, digital resolution: 300pV
Sensors/ sample geometry:- from 5 x 5 mm2 to 12.5 x 12.5 mm2, maximum sample height 3 mm
- from 17.5 x 17.5 mm2 up to 25 x 25 mm2, maximum sample height 5 mm
- from 42.5 x 42.5 mm2 up to 50 x 50 mm2, maximum sample height 5 mm
- High temperature plate, 10 x 10mm2, max. sample height 2mm
Resistance range:10-4 up to 107(Ωcm)
Carrier concentration:107 up to 1021cm-3
Mobility range:0.1 to 107(cm2/volt sec)
Atmospheres:Vacuum, inert, oxidizing, reducing
Temperature accuracy:0.05°C

MODEL

HCS 10 (HCS L36 Advanced)

Temperature range:From LN2 up to 600°C in various versions
-160°C (controlled cooling)
-196°C (quench cooling)
Magnet:Electromagnet up to +/- 1 T variable DC field, pole diameter 76 mm, power supply 75A / 40V.
Current reversing switch for bipolar measurement. Alternative AC option for an alternating magnetic field with ~1 T usable field, at a frequency of up to 0.1 Hz
Power supply:DC 1nA up to 125mA (8 decades / compliance +/- 12V)
AC 16 μA up to 20 mA and input impedance: >100 GigaOhm from 1 mHz to 100 kHz
Voltage measurement:DC low noise / low deviation 1μV up to 2500mV, 4 decades gain, digital resolution: 300pV
AC 20 nV up to 1V, variable integration times and gain
Sensors/ sample geometry:- from 5 x 5 mm2 to 12.5 x 12.5 mm2, maximum sample height 3 mm
- from 17.5 x 17.5 mm2 to 25 x 25 mm2, maximum sample height 5 mm
- from 42.5 x 42.5 mm2 up to 50 x 50 mm2, maximum sample height 5 mm
- High temperature plate, 10 x 10 mm2, maximum sample height 2 mm
Resistance range:10-4 up to 107(Ωcm)
Carrier concentration:107 up to 1021cm-3
Mobility range:10-3 ~ 107cm2V-1s-1
Atmospheres:Vacuum, inert, oxidizing, reducing
Temperature accuracy:0.05°C

MODEL

HCS 100 (HCS L36 Ultimate)

Temperature range:RT up to 500°C
Magnet:Magnet up to 0.5 T (AC or DC field)
Multisegment Halbach configuration, inner diameter: 40mm, height: 98mm
Power supply:DC 1nA up to 125mA (8 decades / compliance +/- 12V)
AC 16 μA up to 20 mA and input impedance: >100 GigaOhm from 1 mHz to 100 kHz
Voltage measurement:DC low noise / low deviation 1μV up to 2500mV, 4 decades gain, digital resolution: 300pV
AC 20 nV up to 1V, variable integration times and gain
Sensors/ sample geometry:Up to 10 x 10 mm2, maximum sample height 2.5 mm
Resistance range:10-5 up to 107(Ωcm)
Carrier concentration:107 up to 1022cm-3
Mobility range:1 ~ 107cm2V-1s-1
Atmospheres:Vacuum, inert, oxidizing, reducing
Temperature accuracy:0.05°C

Aimant de Halbach HCS 100 (HCS L36 Ultimate) (configuration Donute)

HCS 1 (HCS L36 Basic) : capteurs interchangeables avec une EPROM, pour une utilisation plug-and-play facile.

Accessoires disponibles - HCS 1/10/100 (HCS L36)

  • Différents porte-échantillons sont disponibles pour les mesures de LN2 jusqu’à 600°C.
  • La poignée du porte-échantillon ferme la chambre de mesure de manière étanche au vide.
  • La chambre de mesure est équipée d’une entrée et d’une sortie de gaz, ce qui permet d’effectuer des mesures dans une atmosphère contrôlée et changeante.

Les variantes magnétiques du HCS

Appareils HCS HALL

Option électromagnétique (HCS 10 (HCS L36 Advanced))

Un kit d’électroaimant est disponible en alternative à l’aimant permanent. L’électroaimant refroidi par eau fonctionne en combinaison avec une alimentation programmable et un inverseur. L’alimentation peut appliquer des courants allant jusqu’à 75 A, ce qui se traduit par une intensité de champ magnétique variable allant jusqu’à +/-1 T.

Vue détaillée du corps de mesure

Option d’aimant permanent (HCS 1 (HCS L36 Basic))

Le HCS 1 (HCS L36 Basic) est équipé de deux circuits magnétiques (néodyme) montés sur un chariot mobile, qui peut être automatisé en option.
Le système peut être équipé d’une extension basse température et d’une extension haute température.

Option Halbach (HCS 100 (HCS L36 Ultimate))

Le HCS 100 (HCS L36 Ultimate) utilise un aimant en configuration Halbach (aimant permanent en configuration Donut) pour appliquer un champ magnétique DC ou AC à l’échantillon.
Combinée à un courant alternatif fourni par un amplificateur de verrouillage, cette configuration est un outil puissant pour l’étude d’échantillons exigeants, car les décalages et le bruit peuvent être supprimés dans la plupart des cas.

Logiciel

Rendre les valeurs visibles et comparables

Tous les appareils LINSEIS sont pilotés par PC, les différents modules logiciels fonctionnant exclusivement sous les systèmes d’exploitation Microsoft® Windows®. Le logiciel intégré permet une manipulation, un contrôle de la température, une acquisition et une analyse des données faciles.

Généralités :

  • Routine NIST pour trouver les paramètres de mesure optimaux et obtenir des résultats très précis
  • Test de connexion avancé
  • Intégration possible d’électronique externe
  • Stockage de base de données en option
  • Intégration optionnelle d’un amplificateur de verrouillage
  • Reconnaissance automatique des capteurs (EEPROM)
  • Évaluation automatique
  • Régulation entièrement automatique du refroidissement
  • HCS 10 Accès en ligne aux données d’ajustement

Votre industrie

Exemple d’application : film mince d’antimoine (150 nm Sb)
L’antimoine (Sb) est un semi-métal largement utilisé dans le domaine de la thermoélectricité (sous forme d’alliages, par exemple Bi1-xSbx) et comme nouvelle application dans le domaine de la microélectronique. Cependant, les plus grandes applications de l’antimoine métallique sont les plaques de plomb et d’antimoine dans les batteries plomb-acide. La figure montre une caractérisation complète d’une couche mince sur substrat SiO2 /Siobtenue par dépôt par pulvérisation avec la Linseis HCS 1 (HCS L36 Basic) (option RT à 200°C).

Bien informé

Téléchargements

HCS 1/10/100
(HCS L36)

Caractérisation des semi-conducteurs et des dispositifs

Hall HCS