Yarı iletkenler ve elektronik endüstrisi için uygulamalar
Çok çeşitli malzemeler ve üretim yöntemlerinin yüksek karmaşıklığı nedeniyle, yarı iletken malzemelerin ve bunlara dayalı elektronik bileşenlerin analiz edilmesi ve karakterize edilmesi zordur. Aşağıdaki gibi sorulara yanıt veren modern termoanalitik ölçüm teknikleri yardımcı olabilir:
- Bir silikon çip hangi koşullar altında kırılır?
- Hangi termal iletkenlik elektronik bir bileşenin sahip olduğu özellikler nelerdir?
- Termal sensörler çok yüksek sıcaklıklarda nasıl bir davranış sergiler?
- Eğer yapıştırıcı sistemi yeterince İyileşmiş?
- Bir bileşenin ısı yolunda zayıf noktalar var mı?
Termoanalitik ölçüm yöntemleri kullanılarak uygulamadaki yarı iletken bileşenlerin termal davranışları, proses adımlarının verimliliği, katman yapısı ve yapışma özellikleri belirlenebilir. Ayrıca implantasyon profillerini (örneğin silikonda bor) veya temiz oda havasını (örneğin organik bileşenler için) kontrol etmek için de kullanılabilir.
Ürün geliştirme, kalite kontrol, süreç optimizasyonu veya hasar analizi – termal analiz yöntemleri için sayısız uygulama alanı vardır, örneğin dinamik diferansiyel kalorimetrive termogravimetri ya da diferansiyel termal analiz.
