İnce film teknolojisi uygulamaları
İnce film teknolojisi, metalik, dielektrik veya yarı iletken malzemeler gibi çok çeşitli malzemelerden çok ince katmanlar üretmek için kullanılabilir. Katmanlar genellikle fiziksel ve kimyasal kaplama işlemleri kullanılarak biriktirilir.
Daha sonra fotolitografik süreçler kullanılarak yapılandırılır ve ardından aşındırılırlar. Katman kalınlıkları birkaç mikrometreden nanometre aralığına kadar değişmektedir.
İlgili kaplamalar yarı iletken teknolojisinden, nanoteknolojiden ve sıvı kristal ekranların (LCD) üretiminden bilinmektedir. Diğer uygulama alanları arasında fotovoltaikler, sensör teknolojisi ve tıbbi teknoloji üretimi yer almaktadır
Bir yalıtım katmanını, bir işlevsel katmanı, bir koruyucu katmanı veya bu katmanlardan birkaçını üst üste istenen kalınlıkta ve istenen performans özelliklerinde üretmek için, kullanılan malzemelerin termal ve elektriksel özellikleri hakkında yüksek derecede hassasiyet ve bilgi gereklidir.
Bu nedenle, kesin ölçüm sonuçları sağlamak ve başlangıç malzemelerinin ve bunlardan yapılan ince filmlerin hassas analizini mümkün kılmak için ürün geliştirme, süreç kontrolü ve kalite güvencesinde uygun test yöntemleri kullanılmalıdır.
ile başlayarak lazer dilatometreler üzerinde Hall etkisi ve lazer flaş ölçüm ci̇hazlari LINSEIS, özel ince film analizörlerine kadar, ince film teknolojisi alanında birçok farklı şekilde kullanılabilecek geniş bir ürün yelpazesi sunmaktadır.
