Termoelektrik malzemeler bir sıcaklık gradyanını voltaja dönüştüren termoelektrik jeneratörlerde kullanılır. Termoelektrik bir malzemenin performansını karakterize etmek için liyakat figürü (ZT) bir termoelektrik malzemenin performansını karakterize etmek için kullanılır. Liyakat rakamını hesaplamak için termal iletkenlik, elektriksel iletkenlik ve Seebeck katsayısı bilinmesi gerekir. Metalik ince filmler, ilgili yığın malzemelere kıyasla daha düşük termal ve elektriksel iletkenliklere sahipken, Seebeck katsayısı daha az etkilenir ve bu da daha yüksek ZT değerlerine neden olur. Metalik ince filmler endüstride, örneğin entegre devrelerin üretiminde sıklıkla kullanılmaktadır.
Uygulama No. 02-013-002 TFA – termoelektrik ince film – termoelektrik özellikler – metaller ve alaşımlar
2
Elektrik iletkenliği, termal iletkenlik ve Seebeck katsayısı, DC magnetron püskürtme ile üretilen 100 nm kalınlığında bir altın (Au) nano tabakası üzerinde 225 K ila 375 K sıcaklık aralığında ölçülmüştür. ZT bu parametrelerden hesaplanmıştır. Bu ince filmin ölçülen termal ve elektriksel iletkenliği, yığın malzemenin yaklaşık yarısı kadardı. Klasik boyut etkisinin açık bir etkisini gösteren sonuçlar doğrulandı ve Wiedemann-Franz yasası ile mükemmel bir uyum içindeydi.