Opis
Do rzeczy
Systemy Linseis HCS (HCS L36) są wykorzystywane głównie do charakteryzowania materiałów półprzewodnikowych. Mogą one określać zarówno stałą Halla, jak i rezystancję właściwą, a także stężenie nośników ładunku i ruchliwość Halla próbek uzyskanych na ich podstawie. Biurkowa jednostka bazowa jest dostępna w różnych konfiguracjach, które mogą być wyposażone w różne uchwyty na próbki dla różnych geometrii próbek i wymagań temperaturowych.
Opcjonalne rozszerzenie niskotemperaturowe do wykorzystania ciekłego azotu oraz wersja wysokotemperaturowa do 800°C gwarantują pokrycie wszystkich możliwych obszarów zastosowań. Wbudowane magnesy stałe i elektromagnesy zapewniają stałe lub zmienne pola magnetyczne o natężeniu do prawie jednej Tesli. Powiązane, kompleksowe oprogramowanie oparte na systemie Windows© umożliwia nieskomplikowane rejestrowanie krzywych I-V i I-R, a także pomiar i ocenę ruchliwości Halla, przewodności elektrycznej i koncentracji nośników ładunku.
Systemy Linseis HCS (HCS L36) mogą mierzyć szeroką gamę materiałów, w tym Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (typu N i typu P), a także warstwy metali, tlenki metali i wiele innych. Chętnie zademonstrujemy wydajność urządzenia za pomocą przykładowych pomiarów w naszym laboratorium aplikacyjnym.
Funkcje pomiarowe:
- Gęstość nośników ładunku (warstwa [1/cm²]/materiał stały [1/cm³])
- Stała Halla [cm³/C]
- Ruchliwość pogłosowa [cm²/Vs]
- Rezystancja blachy [Ω]
- Opór właściwy [Ωcm]
- Przewodność elektryczna [S/cm]
- Alfa (stosunek oporu poziomego do pionowego)
- Magnetorezystancja
- Współczynnik Seebecka (µV/K)
Funkcje urządzenia:
- Gazoszczelna komora pomiarowa umożliwiająca pomiary w określonych warunkach atmosferycznych lub próżniowych
- Magnesy o średnicy 120 mm zapewniają najwyższą jednorodność pola i maksymalną dokładność (możliwe są próbki o wymiarach do 50 mm x 50 mm).
- Modułowa konstrukcja systemu z możliwością rozbudowy
- Wersja wysokotemperaturowa do 600°C/873K
- Opcja oświetlenia LED (możliwych jest kilka długości fal)
- Opcjonalny wzmacniacz lock-in do pomiarów z minimalnym poziomem szumów
- Podłączenie zewnętrznej elektroniki pomiarowej
- Zintegrowany pakiet oprogramowania zapewniający łatwą obsługę
Unikalne cechy
Wszechstronne opcje pomiarowe: Wyznaczanie stałej Halla, rezystancji właściwej
, koncentracji nośników ładunku
i ruchliwości Halla.
Modułowa konstrukcja systemu: Możliwość dostosowania za pomocą różnych uchwytów na próbki
i rozszerzeń temperatury.
Wysoka jednorodność pola: magnesy 120 mm dla maksymalnej dokładności.
Zintegrowane oprogramowanie:
Przyjazna dla użytkownika obsługa
i kompleksowa analiza danych.
Pytania? Zadzwoń do nas!
+49 (0) 9287/880 0
czwartku w godzinach od 8:00 do 16:00
oraz w piątki w godzinach od 8:00 do 12:00.
Jesteśmy tu dla Ciebie!
Specyfikacje
Czarne na białym
MODEL | HCS 1 (HCS L36 Basic) |
|---|---|
| Temperature range: | From LN2 up to 600°C in various versions -160°C (controlled cooling) -196°C (cooling) |
| Magnet: | Two permanent magnets with +/- 0.7T Diameter of the rod 120 mm for maximum uniformity (+/- 1% over 50mm) |
| Power supply: | DC 1nA up to 125mA (8 decades / compliance +/- 12V) |
| Voltage measurement: | DC low noise / low deviation 1μV up to 2500mV, 4 decades gain, digital resolution: 300pV |
| Sensors/ sample geometry: | - from 5 x 5 mm2 to 12.5 x 12.5 mm2, maximum sample height 3 mm - from 17.5 x 17.5 mm2 up to 25 x 25 mm2, maximum sample height 5 mm - from 42.5 x 42.5 mm2 up to 50 x 50 mm2, maximum sample height 5 mm - High temperature plate, 10 x 10mm2, max. sample height 2mm |
| Resistance range: | 10-4 up to 107(Ωcm) |
| Carrier concentration: | 107 up to 1021cm-3 |
| Mobility range: | 0.1 to 107(cm2/volt sec) |
| Atmospheres: | Vacuum, inert, oxidizing, reducing |
| Temperature accuracy: | 0.05°C |
MODEL | HCS 10 (HCS L36 Advanced) |
|---|---|
| Temperature range: | From LN2 up to 600°C in various versions -160°C (controlled cooling) -196°C (quench cooling) |
| Magnet: | Electromagnet up to +/- 1 T variable DC field, pole diameter 76 mm, power supply 75A / 40V. Current reversing switch for bipolar measurement. Alternative AC option for an alternating magnetic field with ~1 T usable field, at a frequency of up to 0.1 Hz |
| Power supply: | DC 1nA up to 125mA (8 decades / compliance +/- 12V) AC 16 μA up to 20 mA and input impedance: >100 GigaOhm from 1 mHz to 100 kHz |
| Voltage measurement: | DC low noise / low deviation 1μV up to 2500mV, 4 decades gain, digital resolution: 300pV AC 20 nV up to 1V, variable integration times and gain |
| Sensors/ sample geometry: | - from 5 x 5 mm2 to 12.5 x 12.5 mm2, maximum sample height 3 mm - from 17.5 x 17.5 mm2 to 25 x 25 mm2, maximum sample height 5 mm - from 42.5 x 42.5 mm2 up to 50 x 50 mm2, maximum sample height 5 mm - High temperature plate, 10 x 10 mm2, maximum sample height 2 mm |
| Resistance range: | 10-4 up to 107(Ωcm) |
| Carrier concentration: | 107 up to 1021cm-3 |
| Mobility range: | 10-3 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmospheres: | Vacuum, inert, oxidizing, reducing |
| Temperature accuracy: | 0.05°C |
MODEL | HCS 100 (HCS L36 Ultimate) |
|---|---|
| Temperature range: | RT up to 500°C |
| Magnet: | Magnet up to 0.5 T (AC or DC field) Multisegment Halbach configuration, inner diameter: 40mm, height: 98mm |
| Power supply: | DC 1nA up to 125mA (8 decades / compliance +/- 12V) AC 16 μA up to 20 mA and input impedance: >100 GigaOhm from 1 mHz to 100 kHz |
| Voltage measurement: | DC low noise / low deviation 1μV up to 2500mV, 4 decades gain, digital resolution: 300pV AC 20 nV up to 1V, variable integration times and gain |
| Sensors/ sample geometry: | Up to 10 x 10 mm2, maximum sample height 2.5 mm |
| Resistance range: | 10-5 up to 107(Ωcm) |
| Carrier concentration: | 107 up to 1022cm-3 |
| Mobility range: | 1 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmospheres: | Vacuum, inert, oxidizing, reducing |
| Temperature accuracy: | 0.05°C |

Magnes HCS 100 Halbach (konfiguracja pączka)

HCS 1: Wymienne czujniki z pamięcią EPROM, do prostego użytkowania typu plug-and-play.
Dostępne akcesoria

- Dostępne są różne uchwyty na próbki do pomiarów w temperaturach od LN2 do 600°C.
- Uchwyt uchwytu próbki zamyka próżniowo komorę pomiarową.
- Komora pomiarowa jest wyposażona we wlot i wylot gazu, dzięki czemu pomiary mogą być przeprowadzane w kontrolowanej i zmiennej atmosferze.
Warianty magnesów HCS
Opcja elektromagnetyczna (HCS 10 (HCS L36 Advanced))
Zestaw elektromagnesu jest dostępny jako alternatywa dla magnesu stałego. Chłodzony wodą elektromagnes działa w połączeniu z programowalnym zasilaczem i przełącznikiem nawrotnym. Zasilacz może dostarczać prąd o natężeniu do 75 A, co skutkuje zmiennym natężeniem pola magnetycznego do +/-1 T.
Szczegółowy widok korpusu pomiarowego
Opcja magnesu stałego (HCS 1 (HCS L36 Basic))
HCS 1 jest wyposażony w dwa obwody magnetyczne (neodymowe), które są zamontowane na ruchomym wózku, który może być opcjonalnie zautomatyzowany. System może być wyposażony zarówno w przedłużenie niskotemperaturowe, jak i wysokotemperaturowe.
Opcja Halbach (HCS 100 (HCS L36 Ultimate))
HCS 100 wykorzystuje magnes w konfiguracji Halbacha (magnes stały w konfiguracji pączka) do przyłożenia do próbki pola magnetycznego DC lub AC. W połączeniu z prądem zmiennym dostarczanym przez wzmacniacz lock-in, konfiguracja ta jest potężnym narzędziem do analizy trudnych próbek, ponieważ przesunięcia i szumy mogą być tłumione w większości przypadków.
Oprogramowanie
Uwidacznianie i porównywanie wartości
Wszystkie urządzenia LINSEIS są sterowane za pomocą komputera PC, a poszczególne moduły oprogramowania działają wyłącznie pod kontrolą systemu operacyjnego Microsoft® Windows®. Zintegrowane oprogramowanie umożliwia łatwą obsługę, kontrolę temperatury, gromadzenie i analizę danych.
Ogólne:
- Procedura NIST umożliwiająca znalezienie optymalnych ustawień pomiarowych i uzyskanie bardzo dokładnych wyników
- Rozszerzony test połączenia
- Możliwa integracja zewnętrznej elektroniki
- Opcjonalne przechowywanie bazy danych
- Opcjonalna integracja wzmacniacza lock-in
- Automatyczne rozpoznawanie czujników (EEPROM)
- Automatyczna ocena
- W pełni automatyczna kontrola chłodzenia
- HCS 10 Dostęp online do danych personalizacji
Zastosowania
Przykład zastosowania: cienka warstwa antymonu (150 nm Sb)
Antymon (Sb) jest półmetalem, który jest szeroko stosowany w dziedzinie termoelektryki (w postaci stopów, np. Bi1-xSbx) oraz jako nowe zastosowanie w dziedzinie mikroelektroniki. Jednak największym zastosowaniem metalicznego antymonu są płyty ołowiowo-antymonowe w akumulatorach kwasowo-ołowiowych. Rysunek przedstawia pełną charakterystykę cienkiej warstwy wytworzonej metodą napylania jonowego na podłożu SiO2/Si za pomocą urządzenia Linseis HCS 1 (HCS L36 Basic) (opcja RT do 200°C).
Dobrze poinformowany