TF-LFA Analyse de couches minces
Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości

TF-LFA L54

Pomiary przewodności cieplnej / dyfuzyjności cieplnej: 10 nm – 20 µm

TF-LFA L54: Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości do analizy termicznej cienkich warstw

LINSEIS TF-LFA L54 to zaawansowany laserowy system pomiarowy, który mierzy Termorefleksja w domenie częstotliwości (FDTR)do bezkontaktowej charakterystyki termicznej cienkich cienkich warstw i struktur wielowarstwowych.

Umożliwia precyzyjne określenie przewodności cieplnej, dyfuzyjności cieplnejeffusivity, objętościowej pojemności cieplnej i graniczną przewodność cieplną – nawet w ultracienkich warstwach o grubości zaledwie kilku nanometrów.

Zaprojektowany do badań i zaawansowanych zastosowań przemysłowych, TF-LFA L54 łączy w sobie wyjątkową czułość, szeroki zakres temperatur (od temperatury pokojowej do 500 °C) i modułowe opcje anizotropii, mapowania próbek i wizualizacji optycznej.

Ten innowacyjny system oferuje wyjątkową precyzję, stabilność i elastyczność, dzięki czemu idealnie nadaje się do charakteryzacji półprzewodnikówpowłok, materiałów termoelektrycznych, diod LED i innych zaawansowanych technologii cienkowarstwowych.

Unikalne cechy

Icon für zertifizierte Qualität und Normkonformität

Aktualizacja technologii optycznej

TF-LFA L54 wykorzystuje metodę termorefleksji w dziedzinie częstotliwości (FDTR) do bezkontaktowej analizy termicznej cienkich warstw.

Najważniejsze zalety technologii FDTR obejmują

  • Pomiar bezdotykowy – eliminuje zakłócenia mechaniczne i zapewnia maksymalną dokładność w przypadku wrażliwych lub mikroskopijnych próbek.
  • Wysoka dokładność częstotliwości – umożliwia określenie właściwości termicznych w szerokim zakresie modulacji dla różnych materiałów cienkowarstwowych.
  • Ulepszona stabilność – zoptymalizowane wyrównanie optyczne i automatyczne ustawianie ostrości gwarantują powtarzalne wyniki bez konieczności ręcznej regulacji.
  • Duży zakres pomiarowy – umożliwia analizę warstw o grubości od kilku nanometrów do kilku mikrometrów w temperaturach do 500 °C.

Nowe funkcje sprzętowe

Zaawansowana konstrukcja optyczna

TF-LFA L54 posiada najnowocześniejszą konfigurację podwójnego lasera z modulowanym laserem pompującym (405 nm ) i ciągłym laserem sondującym (532 nm) do precyzyjnego wzbudzania i wykrywania. Ta zoptymalizowana konfiguracja zapewnia maksymalną stabilność sygnału i czułość pomiaru, nawet w przypadku ultracienkich powłok.

Automatyczna regulacja ostrości

Zintegrowany system automatycznego ustawiania ostrości stale optymalizuje pozycję lasera podczas pomiaru, eliminując potrzebę ręcznej regulacji i gwarantując powtarzalne wyniki dla każdej próbki.

Funkcja mapowania termicznego

Opcjonalny tryb mapowania próbki pozwala użytkownikom analizować właściwości termiczne w wielu punktach lub obszarach na powierzchni próbki – idealny do badania niejednorodnych warstw lub sprawdzania jednorodności powłok.

Zintegrowany system kamer

Opcjonalny moduł kamery zapewnia podgląd na żywo obszaru pomiarowego, a tym samym umożliwia dokładne pozycjonowanie plamki lasera i wizualną kontrolę powierzchni próbki.

Dzięki Linseis Lab Link oferujemy zintegrowane rozwiązanie do eliminacji niepewności w wynikach pomiarów. Dzięki bezpośredniemu dostępowi do naszych ekspertów ds. zastosowań za pośrednictwem oprogramowania, użytkownik otrzymuje porady dotyczące prawidłowej procedury pomiarowej i sposobu analizy wyników. Ta bezpośrednia komunikacja zapewnia optymalne wyniki i maksymalizuje wydajność pomiarów w celu dokładnej analizy i badań oraz płynnego przepływu procesu.

TF-LFA L54 posiada wysoce precyzyjną konfigurację podwójnego lasera składającą się z modulowanego lasera pompującego (405 nm) i ciągłego lasera sondującego (532 nm).

Taka konfiguracja umożliwia stabilną detekcję sygnału odbicia termicznego o wysokiej rozdzielczości i zapewnia dokładne pomiary termiczne nawet w przypadku ultracienkich warstw w zakresie nanometrów.

Zintegrowany system automatycznego ustawiania ostrości i wyrównywania w sposób ciągły dostosowuje ostrość lasera podczas pracy.

Eliminuje to potrzebę ręcznej kalibracji, co skutkuje spójnymi warunkami pomiaru, lepszą odtwarzalnością i mniejszym wpływem operatora.

Światła

Icon für gezielte Messlösungen
TF-LFA Analyse de couches minces

Kompleksowa charakterystyka termiczna:

  • Pomiar przewodności cieplnej, pojemności cieplnej, dyfuzyjności cieplnej i wydajności cieplnej.
  • Określenie kontaktu termicznego między dwiema sąsiadującymi warstwami.

Funkcja anizotropii:

  • Opcjonalna funkcja
    do pomiaru przewodności cieplnej

    zarówno w kierunku przelotowym

    (przez materiał)
    , jak i w płaszczyźnie
    (prostopadle do wzbudzenia lasera
    ).

Szeroki zakres temperatur:

  • Urządzenie może mierzyć właściwości termiczne
    cienkich warstw
    w temperaturze pokojowej do 500°C.

Obrazowanie termiczne:

  • Dzięki opcjonalnej funkcji mapowania próbki

    właściwości termiczne
    próbki
    mogą być śledzone na określonym obszarze
    lub punktach powierzchni
    , idealne do testów jednorodności
    .

Automatyczna optymalizacja i opcja kamery:

  • Automatyczna optymalizacja wiązki laserowej
    w celu poprawy wyników pomiarów.
  • Dodatkowa opcja kamery, która zapewnia wizualne informacje
    i ułatwia wybór
    punktów zainteresowania na powierzchni próbki
    .

Pomiar rezystancji styków/wartości przewodzących
:

  • Pomiar kontaktu termicznego
    między dwiema warstwami, np. między próbką
    a powierzchnią lub próbką a warstwą przetwornika
    .

Najważniejsze cechy

Ikona certyfikowanej jakości i zgodności z normami

Bezkontaktowy pomiar optyczny

Wykorzystując termorefleksję w dziedzinie częstotliwości (FDTR), TF-LFA L54 wykonuje bezkontaktową analizę termiczną z precyzją opartą na laserze – idealną do wrażliwych cienkich warstw i mikrostruktur.

Kompleksowa charakterystyka termiczna

System jednocześnie określa przewodność cieplną, dyfuzyjność, sprawność, objętościową pojemność cieplną i graniczną przewodność cieplną – bez żadnych założeń dotyczących gęstości lub pojemności cieplnej.

Ikona dla ukierunkowanych rozwiązań pomiarowych

Automatyczne ustawianie ostrości i wyrównanie

Zintegrowany system autofokusa stale dostosowuje pozycję lasera podczas pracy, zapewniając maksymalną stabilność, powtarzalność i dokładność pomiaru dla każdej próbki.

Zintegrowana platforma LINSEIS

Zintegrowane oprogramowanie LINSEIS oferuje kompleksowe rozwiązanie, które łączy sprzęt i oprogramowanie, zapewniając maksymalną niezawodność i precyzję procesu. Znormalizowana platforma umożliwia bezproblemową integrację komponentów i urządzeń pochodzących od partnerów zewnętrznych, zapewniając wyjątkowo solidny i niezawodny system.

Pytania? Zadzwoń do nas!

+49 (0) 9287/880 0

Nasz serwis jest dostępny od poniedziałku do
czwartku w godzinach od 8:00 do 16:00
oraz w piątki w godzinach od 8:00 do 12:00.

Jesteśmy tu dla Ciebie!

Specyfikacje

Symbol analizy termicznej wielowarstwowych i włóknistych materiałów kompozytowych

Możliwość analizy bardzo cienkich warstw: analizuje warstwy od 10 nm do 20 µm

Praca w wysokiej temperaturze: pomiary do 500 °C w kontrolowanej atmosferze

Duży zakres pomiarowy: przewodność cieplna od 0,01 do 2000 W/m-K

Odkryj nasz potężny TF-LFA – opracowany do najnowocześniejszej analizy cienkich warstw:

  • Metoda pomiaru: Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości (FDTR) do bezkontaktowej analizy termicznej opartej na laserze
  • Analizowane parametry: Przewodność cieplna, dyfuzyjność, emisyjność, objętościowa pojemność cieplna i przewodność międzyfazowa.
  • Strojenie optyczne: konfiguracja dwóch laserów z automatycznym ustawianiem ostrości zapewnia maksymalną stabilność i precyzję.
  • Opcja anizotropii: mierzy przewodność cieplną w płaszczyźnie i w poprzek płaszczyzny materiałów wielowarstwowych i dwuwymiarowych.
  • Mapowanie termiczne: Tryb mapowania powierzchni do oceny jednorodności powłoki i jakości powłoki

Pomiar anizotropii – przewodność cieplna we wszystkich kierunkach

TF-LFA L54 umożliwia precyzyjne określenie anizotropii przewodności cieplnej – mierzy zarówno transport ciepła w płaszczyźnie, jak i w poprzek płaszczyzny w cienkich warstwach i strukturach wielowarstwowych.

Zdolność ta jest niezbędna dla zaawansowanych materiałów, takich jak półprzewodnikitermoelektryki, kryształy 2D i baterie komponenty baterii gdzie kierunek przepływu ciepła ma krytyczny wpływ na wydajność i niezawodność.

Z pomocą termorefleksji w dziedzinie częstotliwości (FDTR) system zapewnia bezkontaktowe, specyficzne dla kierunku dane z wyjątkową dokładnością, umożliwiając badaczom pełne zrozumienie i optymalizację zachowania termicznego złożonych, anizotropowych materiałów.

Anizotropia przewodności cieplnej

W rozwoju nowoczesnych akumulatorów i komponentów elektronicznych kierunek przepływu ciepła jest decydującym czynnikiem wpływającym na wydajność i bezpieczeństwo.

Ponieważ przewodność cieplna materiału może się różnić w zależności od kierunku – zjawisko znane jako anizotropia – ważne jest rozróżnienie między transportem ciepła w płaszczyźnie (równolegle do powierzchni) i w poprzek płaszczyzny (prostopadle do powierzchni).

Przewodność w płaszczyźnie ma krytyczne znaczenie dla wydajnego rozprowadzania ciepła w warstwach baterii lub półprzewodników, podczas gdy niska przewodność poprzeczna jest pożądana w powłokach barier termicznych, takich jak cienkie warstwy SiO₂, które chronią wrażliwe komponenty.

Dwuwymiarowe materiały, takie jak PdSe₂, wykazują silną anizotropię i oferują obiecujące możliwości konwersji energii i zaawansowanego zarządzania ciepłem.

Aby w pełni wykorzystać te materiały, niezbędne są testy termiczne zależne od kierunku.

Główne płaszczyzny krystalograficzne PdSe2. Różne kierunki transportu ciepła wewnątrz kryształu.
a) Niepłaskie przewodnictwo cieplne PdSe2 wzdłuż płaszczyzny kryształu [001].*
b) Przewodność cieplna PdSe2 wzdłuż płaszczyzny kryształu [100].*
c) Przewodność cieplna PdSe2 wzdłuż płaszczyzny kryształu [010].*

Rysunek 2: Zewnętrzna i wewnętrzna przewodność cieplna PdSe2 o grubości 297 nm.

TF-LFA oferuje możliwość pomiaru przewodności cieplnej takiego materiału 2D nie tylko w obu kierunkach, ale także w obu kierunkach.

w głównych kierunkach, wewnątrz i na zewnątrz płaszczyzny (patrz Rys. 2 b i 2 c), ale nawet w poprzek osi obrotu powierzchni w dwóch kierunkach.

różne poziomy krystalograficzne.

*Pomiary zostały przeprowadzone przez dr Juana Sebastiana Reparaza.

Metoda

Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości (FDTR)

Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości (FDTR) Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości (FDTR)jest optyczną, bezkontaktową metodą określania właściwości termofizycznych cienkich warstw. cienkich warstw i struktur wielowarstwowych.

Mierzy reakcję termiczną powierzchni materiału na harmonicznie modulowane wzbudzenie laserowe, a tym samym umożliwia precyzyjną analizę bez kontaktu mechanicznego lub niszczącego przygotowania .

W tej metodzie laser pompujący okresowo podgrzewa powierzchnię próbki, podczas gdy laser sondujący wykrywa niewielkie zmiany współczynnika odbicia spowodowane wahaniami temperatury.

Przesunięcie fazowe między ogrzewaniem a reakcją dostarcza szczegółowych informacji na temat przewodności cieplnej, dyfuzyjności cieplnej, effusivity, objętościowej pojemności cieplnej i graniczna przewodność cieplna.

Analizując sygnał w dziedzinie częstotliwości, TF-LFA L54 eliminuje błędy eksperymentalne związane z czasem trwania impulsu lub wyrównaniem optycznym, zapewniając wysoką stabilność i dokładność pomiaru .

Sprawia to, że FDTR jest idealny do cienkich warstw i powłok , półprzewodnikówmateriałów termoelektrycznych i struktur 2D, w których konwencjonalne techniki kontaktowe osiągają swoje granice.

Zasada działania TF-LFA L54

TF-LFA L54 określa właściwości termofizyczne cienkich warstw i struktur wielowarstwowych przy użyciu metody Frequency Domain Thermoreflectance (FDTR)– całkowicie optycznej, bezkontaktowej techniki opartej na modulacji laserowej i pomiarze współczynnika odbicia.

Podczas pomiaru modulowany laser pompujący okresowo podgrzewa powierzchnię próbki, podczas gdy laser sondy monitoruje niewielkie zmiany odbicia spowodowane wynikającymi z tego wahaniami temperatury.

Przesunięcie fazowe między wzbudzeniem termicznym a odbitym sygnałem jest rejestrowane z wysoką precyzją i analizowane przy użyciu modelu transportu ciepła zależnego od częstotliwości.

TF-LFA L54 wykorzystuje te dane do obliczania ważnych parametrów, takich jak przewodność cieplna, dyfuzyjność, emisyjność, objętościowa pojemność cieplna i graniczna przewodność cieplna.

Takie podejście umożliwia dokładną, powtarzalną i nieniszczącą charakterystykę cienkich warstw, powłok i materiałów powłokowych – nawet w przypadkach, w których konwencjonalne metody kontaktowe nie są odpowiednie.

Zmienne mierzone za pomocą termorefleksji w dziedzinie częstotliwości (FDTR)

Możliwości analizy cienkich warstw za pomocą TF-LFA L54:

  • Przewodność cieplna (λ) – określa zdolność cienkiej warstwy lub wielowarstwy do przewodzenia ciepła.
  • Współczynnik dyfuzyjności cieplnej (α) – opisuje szybkość rozprzestrzeniania się ciepła przez materiał.
  • Objętościowa pojemność cieplna (ρ-cp) – wskazuje ilość zmagazynowanego ciepła na jednostkę objętości i zmianę temperatury.
  • Efektywność termiczna (e) – wskazuje, jak skutecznie folia wymienia ciepło z otoczeniem.
  • Przewodność cieplna graniczna (TBC) – mierzy wydajność wymiany ciepła między warstwami lub interfejsami.
  • Przewodność anizotropowa – rozróżnia przenoszenie ciepła w płaszczyźnie i w poprzek płaszczyzny w materiałach anizotropowych.
  • Zachowanie zależne od temperatury – analiza zmian właściwości do 500 °C w kontrolowanej atmosferze.

Pytania? Zadzwoń do nas!

+49 (0) 9287/880 0

Nasz serwis jest dostępny od poniedziałku do
czwartku w godzinach od 8:00 do 16:00
oraz w piątki w godzinach od 8:00 do 12:00.

Jesteśmy tu dla Ciebie!

Wyjaśnienie TF-LFA L54 - funkcja, zastosowanie i możliwości

Czym są cienkie folie i gdzie są stosowane?

Cienkie warstwy:

Cienkie warstwy to materiały o grubości od nanometrów do mikrometrów, które są nakładane na powierzchnie.

W zależności od grubości i temperatury, ich właściwości termofizyczne znacznie różnią się od właściwości materiałów objętościowych. Cienkie warstwy są zwykle stosowane w półprzewodnikach, diodach LED, ogniwach paliwowych i optycznych nośnikach danych.

Różne rodzaje cienkich folii

  • Cienka warstwa: warstwa od kilku nm do µm
  • Folie są hodowane na określonym podłożu
  • Typowe techniki depilacji woskiem to
    • PVD (np. napylanie jonowe, odparowanie termiczne)
    • CVD (PECVD, LPCVD, ALD)
    • Odlewanie kropelkowe, powlekanie i drukowanie
  • Różne rodzaje filmów, w tym
    • Folie półprzewodnikowe (np. folie termoelektryczne, czujniki, tranzystory)
    • Folie metalowe (używane jako styki)
    • Warstwy izolacji termicznej
    • Powłoki optyczne

Nasz zaawansowany system FDTR (Frequency-Domain Thermoreflectance) oferuje znaczące korzyści w porównaniu z konwencjonalną metodą TDTR (Time-Domain Thermoreflectance) poprzez optymalizację konfiguracji i poprawę stabilności pomiaru.

Brak konieczności regulacji lasera sondy: W przeciwieństwie do układu TDTR, w którym laser sondy musi być regulowany ze względu na niewielkie zmiany odbicia, gdy próbka zmienia się względem próbki, nasz system FDTR eliminuje ten wymóg. Nasz system posiada funkcję automatycznego ogniskowania, która w sposób ciągły dostosowuje ogniskowanie lasera sondy w celu uwzględnienia wszelkich zmian w próbce, zapewniając optymalne warunki pomiaru bez konieczności ręcznej interwencji.

Wyrównane lasery: Dzięki idealnie wyrównanym laserom w naszym systemie FDTR nie ma potrzeby dostosowywania wiązki lasera sondy, co ułatwia umieszczenie próbki i zapewnia bardziej stabilne pomiary.

Większy zakres pomiarowy: Dzięki większemu zakresowi pomiarowemu, nasz FDTR przewyższa nawet nanopulsacyjne zestawy TDTR. Można mierzyć cieńsze warstwy próbek i cienkie warstwy o wyższej przewodności cieplnej.

Nie są wymagane żadne założenia: Nasz kompleksowy algorytm oceny umożliwia pomiar cienkich warstw bez żadnych założeń. Wszystko, co musisz wiedzieć, to grubość próbki.

Zalety:

  • Większy zakres pomiarowy
  • Łatwiejsza obsługa
  • Większa stabilność
  • Bardziej precyzyjne wyniki
  • Możliwość pomiaru rezystancji styku termicznego pomiędzy dwoma
  • Warstwy
  • Brak założeń dotyczących
  • Pojemność cieplna i gęstość rozcieńczalnika
  • Przykładowe filmy

Próbka wielowarstwowa

Cienka warstwa (np. półprzewodnikowa, metalowa, organiczna, tlenkowa)



Podłoża (np. Si, Si3N4, szkło kwarcowe)

Metoda 3-omega jest procesem elektrotermicznym, w którym metalowy pasek służy jednocześnie jako element grzejny i czujnik temperatury. Prąd o częstotliwości ω indukuje okresowe nagrzewanie; wynikowa składowa napięcia przy 3ω jest wykorzystywana do oceny przewodności cieplnej, dyfuzyjności i ciepła właściwego cienkich warstw lub materiałów sypkich na podłożu.

W przeciwieństwie do nich, metody termorefleksji / sondy pomp owej (np. termorefleksja w dziedzinie czasu (TDTR) lub termorefleksja w dziedzinie częstotliwości (FDTR)) są optyczne i bezkontaktowe: modulowany lub impulsowy laser pompowy podgrzewa próbkę, a laser sondy monitoruje zmiany współczynnika odbicia (termorefleksji) w celu śledzenia dynamiki temperatury i wyodrębnienia właściwości transportu termicznego.

Istotne różnice praktyczne:

  • Jakość powierzchni i powłoki są ważne: techniki sondy pompowej wymagają zastosowania metalowej warstwy przetwornika (dla termorefleksji) i korzystają z optycznie czystych powierzchni. 3-Omega wykorzystuje strukturalne metalowe elementy grzejne na próbce.
  • Interakcja podłoże/powłoka: 3-Omega często używa grzejnika na podłożu/filmie do pomiarów w płaszczyźnie lub w płaszczyźnie poprzecznej; termorefleksja jest bardzo wrażliwa na interfejsy i cienkie warstwy i działa z bardzo cienkimi warstwami.
  • Obsługa: Metody optyczne umożliwiają pomiary bezdotykowe i są odpowiednie dla małych/cienkich warstw; 3-omega wymaga strukturyzacji i połączenia elektrycznego. W związku z tym należy dokonać wyboru w zależności od grubości warstwy, konstrukcji podłoża/powłoki i przygotowania powierzchni.

Różne zasady pomiaru są odpowiednie dla różnych typów próbek:

  • Metoda 3-omega: Odpowiednia dla cienkich warstw na podłożach (grubość warstwy od nanometrów do mikrometrów) lub podłoży objętościowych ze strukturalnymi elementami grzewczymi. Działa w przypadku wielu procesów osadzania (PVD, CVD, powlekanie wirowe), jeśli można dołączyć element grzejny/czujnik. Może wymagać specjalnego przygotowania próbki i geometrii podłoża.
  • Termorefleksja (sonda pompowa / FDTR / TDTR): Idealny do ultracienkich warstw (od 10 nm do kilku µm) i wielowarstwowych stosów, które są nakładane na podłoża przy użyciu technik takich jak PVD, CVD, ALD, powlekanie spinowe lub odlewanie kropli. TF-LFA L54, na przykład, obsługuje warstwy od 10 nm do ~20 µm. Zakres temperatur: W przypadku metod optycznych temperatura pomiaru może wynosić od temperatury pokojowej do ~500 °C (w zależności od urządzenia) w atmosferze obojętnej, utleniającej lub redukującej. Obsługa: Metody optyczne wymagają czystych powierzchni, osadzania warstw przetwornika i dobrego kontaktu między podłożem a folią. 3-Omega wymaga strukturalnych elementów grzejnych i czasami podwieszanych membran do pomiarów w płaszczyźnie.
  • Wybór zależy zatem od grubości folii, rodzaju podłoża, zakresu temperatur i wymaganego kierunku pomiaru.
  • Pomiar w płaszczyźnie odnosi się do transportu ciepła równolegle do powierzchni folii lub podłoża.
  • Pomiar w płaszczyźnie poprzecznej odnosi się do transportu ciepła prostopadle do powierzchni folii/podłoża (przez grubość). W przypadku cienkich warstw i struktur wielowarstwowych oba kierunki są ważne, ponieważ często występuje anizotropia. W kategoriach technicznych:
  • 3-Omega może być skonfigurowana zarówno do pomiarów w płaszczyźnie, jak i w płaszczyźnie poprzecznej, np. element grzejny na zawieszonej membranie zapewnia dane w płaszczyźnie; różnicowa 3-Omega na folii + podłożu zapewnia dane w płaszczyźnie poprzecznej.
  • Termorefleksja (FDTR / TDTR) jest zwykle bardzo czuła w kierunku poprzecznym, ponieważ zmiany współczynnika odbicia monitorują dynamikę temperatury prostopadle do powierzchni; dodatkowe konfiguracje lub modyfikacje mogą być wymagane dla przewodności cieplnej w płaszczyźnie. Dlatego:
  • Metody termorefleksyjne są szczególnie skuteczne w przypadku dokładnego przewodnictwa cieplnego na płaszczyźnie.
  • W przypadku pomiarów w płaszczyźnie, 3-Omega pozostaje dobrym wyborem (szczególnie w przypadku folii strukturalnych lub zawieszonych). Czułość zależy od geometrii folii, konfiguracji pomiarowej i stosunku sygnału do szumu – metody optyczne oferują bardzo wysoką czułość dla cienkich folii i interfejsów.

Cena systemu TF-LFA L54 zależy od wybranej konfiguracji i dodatkowych opcji, takich jak zakres temperatur, typ pieca, system chłodzenia, funkcje automatyzacji lub specjalne tryby pomiarowe. Ponieważ każdy system można dostosować do konkretnych wymagań aplikacji, koszty mogą się znacznie różnić.
Aby uzyskać dokładną wycenę, prześlij nam swoje wymagania za pośrednictwem naszego formularza kontaktowego – z przyjemnością przedstawimy Ci indywidualną wycenę.

Czas dostawy TF-LFA L54 zależy w dużej mierze od wybranych opcji i konfiguracji. Dodatkowe funkcje, takie jak specjalne piece, rozszerzone zakresy temperatur, automatyzacja lub dostosowanie mogą wydłużyć czas produkcji i przygotowania, a tym samym wydłużyć czas dostawy.
Skontaktuj się z nami za pośrednictwem naszego formularza kontaktowego, aby otrzymać dokładną wycenę czasu dostawy w oparciu o Twoje indywidualne wymagania.

Oprogramowanie

Uwidacznianie i porównywanie wartości

Oprogramowanie ogólne

Wszystkie analizatory termiczne LINSEIS są w pełni sterowane komputerowo i działają w środowisku Microsoft® Windows®.

Pakiet oprogramowania jest podzielony na trzy intuicyjne moduły – kontrolę temperatury, gromadzenie danych i analizę danych – i zapewnia płynny proces od konfiguracji do końcowej analizy.

Oprogramowanie LINSEIS zostało opracowane we współpracy z naszymi specjalistami ds. aplikacji i łączy w sobie łatwość obsługi, bezpieczeństwo danych i kompleksową funkcjonalność zapewniającą wydajną codzienną pracę.

Do najważniejszych funkcji należą

  • Pełna kompatybilność z MS® Windows
  • Automatyczna ochrona danych w przypadku awarii zasilania
  • Ocena bieżących pomiarów w czasie rzeczywistym
  • Porównanie krzywych i nakładanie kilku zestawów danych
  • Przechowywanie, eksport i import danych w formacie ASCII lub Excel

Oprogramowanie do analizy i pomiarów

Oprogramowanie ewaluacyjne oferuje zaawansowane narzędzia do szczegółowej analizy termicznej cienkich warstw i systemów wielowarstwowych.

Korzystając z wielowarstwowego modelu transportu ciepła, jednocześnie określa przewodność cieplną, dyfuzyjność, wydajność i objętościową pojemność cieplną, a także umożliwia określenie rezystancji styku, wizualizację wrażliwości i testy wykonalności dla każdego eksperymentu.

Oprogramowanie pomiarowe zapewnia w pełni automatyczną pracę z prostym, przyjaznym dla użytkownika wprowadzaniem wszystkich parametrów pomiarowych.

Gwarantuje precyzyjną kontrolę temperatury, powtarzalne wyniki i zoptymalizowany przepływ pracy – od konfiguracji testu do pełnego określenia właściwości termicznych.

Biblioteka termiczna LINSEIS

Pakiet oprogramowania LINSEIS Thermal Library jest opcją dla dobrze znanego, przyjaznego dla użytkownika oprogramowania ewaluacyjnego LINSEIS Platinum, które jest zintegrowane z prawie wszystkimi naszymi urządzeniami. Dzięki Thermal Library można porównać kompletne krzywe z bazą danych zawierającą tysiące referencji i standardowych materiałów w zaledwie 1-2 sekundy.

Multi-instrument

Wszystkie instrumenty LINSEIS DSC, DIL, STA, HFM, LFA itp. mogą być sterowane za pomocą szablonu oprogramowania.

Wielojęzyczny

Nasze oprogramowanie jest dostępne w wielu różnych językach, które mogą być zmieniane przez użytkownika, w tym: Angielski, Hiszpański, Francuski, Niemiecki, Chiński, Koreański, Japoński, itd.

Generator raportów

Wygodny wybór szablonu do tworzenia niestandardowych raportów pomiarowych.

Wielu użytkowników

Administrator może skonfigurować różne poziomy użytkowników z różnymi uprawnieniami do obsługi urządzenia. Opcjonalnie dostępny jest również plik dziennika.

Oprogramowanie Kinetic

Analiza kinetyczna danych DSC, DTA, TGA i EGA (TG-MS, TG-FTIR) w celu zbadania zachowania termicznego surowców i produktów.

Baza danych

Najnowocześniejsza baza danych umożliwia proste zarządzanie danymi do 1000 rekordów danych.

Zastosowania

Cienkie warstwy

W nowoczesnych systemach cienkowarstwowych – takich jak półprzewodniki, diody LED, ogniwa paliwowe lub optyczne nośniki danych – właściwości transportu ciepła znacznie różnią się od właściwości materiałów masowych.

Zmniejszona przewodność cieplna często wynika z efektów takich jak rozpraszanie międzyfazowe, zanieczyszczenia, granice ziaren lub zachowanie zależne od grubości.

LINSEIS TF-LFA L54 wykorzystuje technologię termorefleksji w dziedzinie częstotliwości (FDTR) i umożliwia bezkontaktową, wysoce precyzyjną analizę termiczną cienkich warstw i struktur wielowarstwowych w zakresie od kilku nanometrów do kilku mikrometrów.

Określa ważne parametry, takie jak przewodność cieplna, dyfuzyjność, wydajność, objętościowa pojemność cieplna i graniczna przewodność cieplna oraz dostarcza ważnych informacji na temat transportu ciepła, interfejsów warstw i wydajności materiału.

Dzięki precyzji optycznej i zaawansowanym modelom oceny danych, TF-LFA L54 jest idealnym przyrządem do badań i kontroli jakości w rozwoju cienkich warstw, zapewniając optymalne zarządzanie temperaturą w materiałach i urządzeniach nowej generacji.

Przykład zastosowania: Diament CVD – przewodność cieplna

Próbki diamentów o wysokiej przewodności można mierzyć za pomocą laserowego analizatora częstotliwości Linseis (TF-LFA L54), który wykorzystuje technikę termorefleksji w dziedzinie częstotliwości do charakteryzowania zachowania termicznego i zapewnienia kontroli jakości w zastosowaniach, w których wydajne rozpraszanie ciepła ma kluczowe znaczenie. Dokładne pomiary przewodności cieplnej są niezbędne do weryfikacji jakości i wydajności próbek diamentowych, ponieważ czynniki takie jak wielkość ziarna, czystość i grubość mogą wpływać na właściwości transportowe.

Pomiar właściwości termicznych diamentu CVD. Oś x pokazuje logarytmicznie skalowaną częstotliwość w hercach, podczas gdy oś y pokazuje przesunięcie fazowe między wzbudzeniem przez laser pompujący i laser sondujący. Gdzie λ jest przewodnością cieplną, α jest przewodnością cieplną, e jest efektywnością cieplną, a TBC jest graniczną przewodnością cieplną między warstwą przetwornika (złoto) a próbką (diament). Określa, jak dobrze połączenie materiałów jest w stanie wymieniać ciepło między sobą.

Termorefleksja w dziedzinie częstotliwości (FDTR) jest preferowaną metodą pomiaru przewodności cieplnej w materiałach takich jak diament CVD, zwłaszcza w cienkich warstwach i próbkach w mikroskali, gdzie niezbędna jest wysoka rozdzielczość przestrzenna. Laserowy analizator częstotliwości Linseis (TF-LFA) jest idealnym narzędziem do tego celu. FDTR wykorzystuje modulowany laser do indukowania lokalnego ogrzewania w próbce i mierzy reakcję termorefleksyjną materiału

przy różnych częstotliwościach modulacji. Korzystając z tej techniki, naukowcy mogą określić przewodność cieplną poprzez modelowanie przepływu ciepła przez diament i jego interfejsy.

Przykład zastosowania: cienka warstwa SiO2 504 nm

Cienkie szklane warstwy czystego dwutlenku krzemu (kwarcu) są często stosowane w przemyśle półprzewodnikowym i elektronicznym jako warstwa ochronna lub jako termiczna lub elektroniczna warstwa izolacyjna. W tym przykładzie warstwa SiO2 została zbadana za pomocą urządzenia TF-LFA firmy Linseis w celu pełnego scharakteryzowania jej właściwości termicznych.

Azotek glinu AIN 200 nm
Azotek glinu AIN 800 nm
Azotek glinu AIN 1600 nm

Przykład zastosowania: Azotek glinu AIN

AlN jest często stosowany jako warstwa izolacji termicznej lub warstwa izolacji elektronicznej w czujnikach lub w mikroelektronice. Jego właściwości termiczne w funkcji grubości warstwy zostały zbadane w tym zastosowaniu przy użyciu TF-LFA.

Dobrze poinformowany

Pliki do pobrania

Wszystko w skrócie

TF-LFA L54

Pomiary przewodności cieplnej / dyfuzyjności cieplnej: 10 nm - 20 µm

TF-LFA-analyse-de-couches-minces