概要
要点
超高真空下、大気圧下、高圧下など、Linseis L40ガス・ドージング・システム(GDS)はお客様の要求に最適なスタンドアローン・ガスコントロールシステムです。オプションで腐食性ガスの使用や湿度の設定も可能です。
高品質で完全電子制御のミキシング、ドージング、分析コンポーネントを備えた完全なソリューションです。 EGA-シリーズによる完全なソリューションにより、非常に精密な混合ガスが可能になります。高品質の測定は、再現性のある条件下でのみ実施できます。わずかな偏差でも周囲の雰囲気に悪影響を及ぼし、測定結果に大きな影響を与えます。
ユニークな特徴
幅広い用途：超高真空、常圧、高圧条件に対応。
腐食性ガスと定義された加湿：
オプションで腐食性ガスの使用と定義されたガス加湿が可能。凝縮水トラップと制御された排ガス出口を含む。
正確なガス混合：混合、注入、分析コンポーネントの完全電子制御。
拡張オプション：
直感的なタッチスクリーン・ディスプレイと自動排気・圧力制御。
高性能マスフローコントローラー：
周囲圧力150 bar、温度2400 °Cまで使用可能。水蒸気を含む数種類のガスが使用可能。
サービスホットライン
+49 (0) 9287/880 0
月曜日から木曜日は午前8時から午後4時まで、金曜日は午前8時から午後12時までご利用いただけます。
私たちはあなたのためにここにいます！
仕様
大気圧用ガス混合システム L40/205*：
L40/205*シリーズは、低価格のエントリーバージョンとして、最大4種類のガスを混合することができます。ガスはソレノイドバルブにより自動的にオン・オフできます。流量は高精度の回転計により手動で制御されます。
MODEL | GAS PIPES | PRESSURE LEVEL | DOSING- |
|---|---|---|---|
| L40/2052 | 2 | Up to 1 bar | Electromagnetic valve |
| L40/2053 | 3 | Up to 1 bar | Electromagnetic valve |
| L40/2054 | 4 | Up to 1 bar | Electromagnetic valve |
MODEL | GAS PIPES | PRESSURE LEVEL | DOSING- |
|---|---|---|---|
| L40/2052/HP50 | 2+1 for pressure control | Up to 50 bar | MFC |
| L40/2053/HP50 | 3+1 for pressure control | Up to 50 bar | MFC |
| L40/2054/HP50 | 4+1 for pressure control | Up to 50 bar | MFC |
圧力ガス注入システム L40/205*/HP50：
L40/205*/HP50シリーズは完全電子式ガス流量制御を提供します。高度な要求に対応する便利な操作と自動化環境を備えています。最大 50 bar の圧力で、最大 4 種類のガスを制御できます。高品質のMFC技術により、混合ガス生成のための最大限の柔軟性と精度が保証されます。
MODEL | GAS PIPES | PRESSURE LEVEL | DOSING- |
|---|---|---|---|
| L40/2052/HP150 | 2+1 for pressure control | Up to 150 bar | MFC |
| L40/2053/HP150 | 3+1 for pressure control | Up to 150 bar | MFC |
| L40/2054/HP150 | 4+1 for pressure control | Up to 150 bar | MFC |
圧力ガス注入システム L40/205*/HP150：
L40/205*/HP150シリーズは完全電子式ガス流量制御を提供します。高度な要求に対応する便利な操作と自動化環境を備えています。最大150 barの圧力で、最大4種類のガスを制御できます。高品質のMFC技術により、混合ガス生成のための最大限の柔軟性と精度が保証されます。
拡張オプション：
すべてのガス注入装置は、直感的なタッチスクリーンディスプレイでアップグレードできます。ユーザーはすべてのプロセスとプロセスパラメーターを直接制御できます。ガス注入装置は、イントラネットまたはインターネットを介して便利に操作することができ、危険な物質を使用する場合など、高度な操作の利便性と安全性を実現します。
ガス注入装置は、自動排気と圧力制御で拡張することができ、反応チャンバーや測定チャンバーで最初にガスを除去できるため、ガス雰囲気の組成を大幅に増加させることができ、真空システムでの使用も可能になる。
オプションのヴェポライザー・システムを接続すれば、湿度の高いガス雰囲気で作業することができます。マイクロドージングシステムにより、ヴェポライザーは正確なガス加湿を保証し、湿度を正確に設定することができます。
十分な情報
