概要
要点
Linseis HCS L36システムは、主に半導体材料の特性評価に使用されます。ホール定数、比抵抗、電荷キャリア濃度、ホール移動度を測定することができます。卓上型ベースユニットには様々な構成があり、サンプルの形状や温度要件に応じて異なるサンプルホルダーを装備することができます。
液体窒素を使用するための低温エクステンション（オプション）と800℃までの高温バージョンにより、考えられるすべての応用分野をカバーできることが保証される。内蔵の永久磁石と電磁石により、最大1テスラまでの固定または可変磁場が得られます。関連するWindows©ベースの包括的なソフトウェアにより、I-VおよびI-R曲線の簡単な記録、ホール移動度、電気伝導度、電荷キャリア濃度の測定と評価が可能です。
Linseis HCS L36システムは、Si、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN（NタイプおよびPタイプ）、さらに金属層、金属酸化物など、さまざまな材料の測定が可能です。弊社のアプリケーションラボでサンプル測定を行い、デバイスの性能を実証させていただきます。
測定機能：
- 電荷キャリア密度（層[1/cm²]/固体材料[1/cm³])
- ホール定数[cm³/C］
- 残響移動度 [cm²/Vs］
- シート抵抗［Ω］
- 比抵抗［Ωcm］
- 電気伝導率 [S/cm］
- アルファ（水平抵抗と垂直抵抗の比）
- 磁気抵抗
- ゼーベック係数 (µV/K)
デバイスの特徴：
- ガス密閉式測定チャンバーにより、定義された大気または真空条件下での測定が可能
- 最高の磁場均一性と最高の精度を実現する直径120mmのマグネット（50mm x 50mmまでの試料が可能）
- モジュール式でアップグレード可能なシステム設計
- 600°C/873K までの高温バージョン
- LED照明オプション（複数の波長が可能）
- オプションのロックインアンプでノイズを最小限に抑えた測定が可能
- 外部測定用電子機器の接続
- ユーザーフレンドリーな操作性を実現する統合ソフトウェアパッケージ
ユニークな特徴
多彩な測定オプション：
ホール定数、比抵抗、電荷キャリア濃度、ホール移動度の測定。
モジュラーシステム設計：様々なサンプルホルダーと温度拡張機能でカスタマイズ可能。
高い磁場均一性：120mmのマグネットで最高の精度を実現。
統合ソフトウェア：ユーザーフレンドリーな操作と包括的なデータ分析。
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仕様
白地に黒
MODELL | HCS L36 Basic |
|---|---|
| Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen -160°C (Quench-Kühlung) -196°C (Abkühlung) |
| Magnet: | zwei Permanentmagnete mit +/- 0,7T Durchmesser der Stange 120 mm für höchste Gleichmäßigkeit (+/- 1% über 50mm) |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV |
| Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm - von 17,5 x 17,5 mm2 bis zu 25 x25 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm - von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm - Hochtemperaturplatte, 10 x 10mm2, max. Probenhöhe 2mm |
| Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 0,1 bis 107(cm2/Volt sek) |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
MODELL | HCS L36 Ultimate |
|---|---|
| Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen -160°C (Quench-Kühlung) -196°C (Quench-Kühlung) |
| Magnet: | Elektromagnet bis zu +/- 1 T variables Gleichfeld, Poldurchmesser 76 mm, Stromversorgung 75A / 40V. Stromumkehrschalter für bipolare Messung. Alternative AC-Option für ein magnetisches Wechselfeld mit ~1 T nutzbarem Feld, bei einer Frequenz von bis zu 0,1 Hz |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung |
| Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm - von 17,5 x 17,5 mm2 bis 25 x 25 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm - von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm - Hochtemperaturplatte, 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2 mm |
| Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 10-3 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
MODELL | HCS L36 Advanced |
|---|---|
| Temperaturbereich: | RT bis zu 500°C |
| Magnet: | Magnet bis zu 0,5 T (AC oder DC Feld) Multisegment Halbach Konfiguration, Innendurchmesser: 40mm, Höhe: 98mm |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz" |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung" |
| Sensoren/ Probengeometrie: | Bis zu 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2,5 mm |
| Widerstandsbereich: | 10-5 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1022cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 1 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
HCS L36 アドバンスド・ハルバッハ・マグネット（ドーナツ形状）
HCS L36 ベーシック：EEPROM付きの交換可能なセンサーで、プラグアンドプレイで簡単に使用できます。
アクセサリー
- LN2から600℃までの測定に対応する各種サンプルホルダーを用意しています。
- サンプルホルダーハンドルは、測定チャンバーを真空密閉します。
- 測定チャンバーにはガスの入口と出口があり、制御され変化する雰囲気下で測定を行うことができる。
HCSの磁石のバリエーション
電磁オプション（HCS L36 Ultimate）
永久磁石の代替品として、電磁石キットをご用意しています。水冷式電磁石は、プログラム可能な電源および反転スイッチと組み合わせて使用します。電源は最大75 Aの電流を流すことができ、最大±1 Tの可変磁場強度が得られます。
測定体の詳細図
パーマメントマグネットオプション（HCS L36 ベーシック）
HCS 1は、2つの磁気回路（ネオジム）を備え、オプションで自動化可能な可動キャリッジに搭載されている。 このシステムには、低温用と高温用のエクステンションを装備することができる。
ハルバッハオプション（HCS100（HCS L36上級）
HCS 100は、ハルバッハ配置のマグネット（ドーナツ配置の永久磁石）を使用して、サンプルにDCまたはAC磁場を印加します。 ロックインアンプから供給される交流電流と組み合わせることで、オフセットやノイズをほとんどのケースで抑制できるため、このセットアップは困難なサンプルの分析に威力を発揮します。
ソフトウェア
価値を可視化し、比較可能にする
全てのLINSEIS装置はPC制御で、各ソフトウェアモジュールはMicrosoft® Windows®オペレーティングシステムのみで動作します。統合されたソフトウェアにより、取り扱い、温度制御、データ収集、データ解析が簡単に行えます。
一般的なことだ：
- 最適な測定設定を見つけ、高精度の結果を得るためのNISTルーチン
- 拡張接続テスト
- 外部電子機器の統合が可能
- オプションのデータベース・ストレージ
- オプションでロックインアンプを内蔵可能
- 自動センサー認識（EEPROM）
- 自動評価
- 全自動冷却制御
- HCS L36 アルティメイト カスタマイズデータへのオンラインアクセス
アプリケーション
用途例：アンチモン薄膜（150 nm Sb）
十分な情報
