TF-LFA L54: الانعكاس الحراري لمجال التردد للتحليل الحراري للأغشية الرقيقة
إن نظام LINSEIS TF-LFA L54 هو نظام قياس متقدم قائم على الليزر يقيس الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR)للتوصيف الحراري غير التلامسي للأغشية الرقيقة الرقيقة الأغشية الرقيقة والهياكل متعددة الطبقات.
يتيح التحديد الدقيق لـ التوصيل الحراري بدقة, والانتشار الحراريوالانصبابية السعة الحرارية الحجمية والتوصيلية الحرارية الحدية – حتى في الطبقات الرقيقة للغاية التي لا تتجاوز بضعة نانومترات.
يجمع جهاز TF-LFA L54 المصمم للأبحاث والتطبيقات الصناعية المتطورة بين الحساسية الاستثنائية ونطاق درجة حرارة واسع (من درجة حرارة الغرفة حتى 500 درجة مئوية) وخيارات معيارية للتباين الخواص وتخطيط العينة والتصور البصري.
يوفر هذا النظام المبتكر دقة وثباتًا ومرونة فائقة، وبالتالي فهو مثالي لتوصيف أشباه الموصلاتوالطلاءات والمواد الكهروحرارية ومصابيح LED وغيرها من تقنيات الأغشية الرقيقة المتقدمة.
ميزات فريدة من نوعها
تحديث التكنولوجيا البصرية
يستخدم جهاز TF-LFA L54 طريقة الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR) للتحليل الحراري غير التلامسي للأغشية الرقيقة.
تشمل أهم مزايا تقنية FDTR ما يلي
- قياس عدم التلامس – يزيل التداخل الميكانيكي ويضمن أقصى قدر من الدقة مع العينات الحساسة أو المجهرية.
- دقة تردد عالية – تتيح تحديد الخواص الحرارية على نطاق تعديل واسع لمجموعة متنوعة من المواد الرقيقة.
- ثبات محسّن – تضمن المحاذاة البصرية المحسّنة والتركيز البؤري التلقائي نتائج قابلة للتكرار بدون تعديل يدوي.
- نطاق قياس كبير – يتيح تحليل الطبقات التي يتراوح سمكها من بضعة نانومترات إلى عدة ميكرومترات في درجات حرارة تصل إلى 500 درجة مئوية.
وظائف الأجهزة الجديدة
تصميم بصري متقدم
يتميز جهاز TF-LFA L54 بتكوين ليزر مزدوج متطور مع ليزر مضخة معدّل (405 نانومتر) وليزر مسبار مستمر (532 نانومتر) للإثارة والكشف الدقيقين. يضمن هذا التكوين المحسّن أقصى قدر من ثبات الإشارة وحساسية القياس، حتى مع الطلاءات الرقيقة للغاية.
ضبط التركيز البؤري التلقائي
يعمل نظام التركيز التلقائي المدمج على تحسين موضع الليزر باستمرار أثناء القياس، مما يلغي الحاجة إلى التعديلات اليدوية ويضمن نتائج قابلة للتكرار لكل عينة.
وظيفة رسم الخرائط الحرارية
يسمح وضع تخطيط العينة الاختياري للمستخدمين بتحليل الخصائص الحرارية في نقاط أو مناطق متعددة على سطح العينة – وهو مثالي لفحص الطبقات غير المتجانسة أو التحقق من تجانس الطلاءات.
نظام كاميرا متكامل
توفر وحدة الكاميرا الاختيارية عرضًا مباشرًا لمنطقة القياس، وبالتالي تتيح تحديد موضع بقعة الليزر بدقة وفحصًا بصريًا لسطح العينة.
رابط مختبر لينسيس
مع برنامج Linseis Lab Link، نقدم حلاً متكاملاً لإزالة أوجه عدم اليقين في نتائج القياس. من خلال الوصول المباشر إلى خبراء التطبيق لدينا عبر البرنامج، تتلقى المشورة بشأن إجراء القياس الصحيح وكيفية تحليل النتائج. يضمن هذا التواصل المباشر الحصول على أفضل النتائج ويزيد من كفاءة القياسات الخاصة بك للحصول على تحليل وبحث دقيقين وتدفق سلس للعمليات.
تكوين ليزر مزدوج
يتميز جهاز TF-LFA L54 بتكوين ليزر مزدوج عالي الدقة يتكون من ليزر مضخة معدّل (405 نانومتر) وليزر مسبار مستمر (532 نانومتر).
يتيح هذا التكوين إمكانية الكشف المستقر والعالي الدقة لإ شارة الانعكاس الحراري ويضمن إجراء قياسات حرارية دقيقة حتى مع الطبقات الرقيقة جدًا في نطاق النانومتر.
محاذاة بصرية تلقائية
يعمل نظام الضبط البؤري التلقائي والمحاذاة المدمج على ضبط بؤرة الليزر باستمرار أثناء التشغيل.
وهذا يلغي الحاجة إلى المعايرة اليدوية، مما يؤدي إلى اتساق ظروف القياس وتحسين قابلية التكرار وتقليل تأثير المشغل.
هيه جلايتس
توصيف حراري شامل:
- قياس التوصيل الحراري والسعة الحرارية والانتشار الحراري والانسيابية الحرارية.
- تحديد التلامس الحراري بين طبقتين متجاورتين.
دالة التباين في الخواص:
- وظيفة اختيارية
لقياس الموصلية الحراريةفي كل من
من خلال الاتجاه
(من خلال المادة)
وفي المستوى
(عمودي على الإثارة بالليزر
).
نطاق واسع لدرجات الحرارة:
- يمكن للجهاز قياس الخصائص الحرارية
للأغشية الرقيقة
في درجة حرارة الغرفة حتى 500 درجة مئوية
التصوير الحراري:
- مع وظيفة رسم خرائط العينة الاختيارية
يمكن تتبع الخصائص الحرارية
للعينة
على مساحة محددة
أو نقاط من السطح
، وهي مثالية لاختبارات التجانس
.
خيار التحسين التلقائي وخيار الكاميرا:
- التحسين التلقائي لشعاع الليزر
لتحسين نتائج القياس. - خيار الكاميرا الإضافي الذي يوفر معلومات مرئية
ويسهل التحديد
من نقاط الاهتمام على سطح العينة
.
قياس المقاومات الحرارية
مقاومات التلامس/القيم التوصيلية:
- قياس التلامس الحراري
بين طبقتين، على سبيل المثال بين العينة
والسطح أو العينة وطبقة محول الطاقة
.
الميزات الرئيسية
قياس بصري غير تلامسي
باستخدام الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR) ، يقوم جهاز TF-LFA L54 بإجراء تحليل حراري غير تلامسي بدقة تعتمد على الليزر – وهو مثالي للأغشية الرقيقة الحساسة والبنى المجهرية الدقيقة.
التوصيف الحراري الشامل
يحدد النظام الموصلية الحرارية والانتشارية والانسيابية والسعة الحرارية الحجمية والتوصيل الحراري الحدّي الحراري في آن واحد – دون أي افتراضات حول الكثافة أو السعة الحرارية.
تركيز تلقائي ومحاذاة تلقائية
يعمل نظام التركيز التلقائي المدمج على ضبط موضع الليزر باستمرار أثناء التشغيل، مما يضمن أقصى قدر من الثبات والتكرار ودقة القياس لكل عينة.
منصة LINSEIS المتكاملة
يوفر برنامج LINSEIS المتكامل حلاً شاملاً يجمع بين الأجهزة والبرمجيات لتحقيق أقصى قدر من الموثوقية والدقة في العملية. تتيح المنصة الموحدة إمكانية الدمج السلس للمكونات والأجهزة من الشركاء الخارجيين – للحصول على نظام شامل قوي وموثوق بشكل خاص.
هل لديك أسئلة؟ فقط اتصل بنا!
+49 (0) 9287/880 0
الخميس من الساعة 8 صباحاً حتى 4 عصراً
والجمعة من الساعة 8 صباحاً حتى 12 ظهراً.
نحن هنا من أجلك!
المواصفات
قدرة الطبقات الرقيقة للغاية: تحليل الطبقات من 10 نانومتر إلى 20 ميكرومتر
التشغيل في درجات حرارة عالية: قياسات تصل إلى 500 درجة مئوية تحت أجواء خاضعة للتحكم
نطاق قياس كبير: الموصلية الحرارية من 0.01 إلى 2000 واط/م-ك
اكتشف TF-LFA القوي – الذي تم تطويره لتحليل الأغشية الرقيقة على أحدث طراز:
- طريقة القياس: الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR) للتحليل الحراري غير المتصل القائم على الليزر
- البارامترات المحللة: التوصيل الحراري، والانتشارية، والقدرة الانصبابية، والسعة الحرارية الحجمية، والتوصيل البيني
- المحاذاة البصرية: تكوين ليزر مزدوج مع ضبط بؤري تلقائي للتركيز البؤري لتحقيق أقصى قدر من الثبات والدقة
- خيار تباين الخواص: يقيس الموصلية الحرارية داخل المستوى والمستوى المتقاطع للمواد متعددة الطبقات والمواد ثنائية الأبعاد
- رسم الخرائط الحرارية: وضع رسم الخرائط السطحية لتقييم تجانس الفيلم وجودة الطلاء
قياس تباين الخواص – الموصلية الحرارية في جميع الاتجاهات
يمكّن TF-LFA L54 من التحديد الدقيق لتباين الخواص للتوصيل الحراري – فهو يقيس كلاً من انتقال الحرارة داخل المستوى والمستوى العرضي في الطبقات الرقيقة والهياكل متعددة الطبقات.
هذه القدرة ضرورية للمواد المتقدمة مثل أشباه الموصلاتوالكهربائية الحرارية والبلورات ثنائية الأبعاد والبطاريات ومكونات البطاريات حيث يكون لاتجاه تدفق الحرارة تأثير حاسم على الأداء والموثوقية.
بمساعدة الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR) يوفر النظام بيانات غير متلامسة ومحددة الاتجاه بدقة استثنائية، مما يسمح للباحثين بفهم السلوك الحراري للمواد المعقدة متباينة الخواص وتحسينه.
تباين خواص التوصيل الحراري
في تطوير البطاريات والمكونات الإلكترونية الحديثة، يعد اتجاه التدفق الحراري عاملاً حاسماً للأداء والسلامة.
نظرًا لأن الموصلية الحرارية في المادة يمكن أن تختلف تبعًا للاتجاه – وهي ظاهرة تُعرف باسم تباين الخواص – فمن المهم التمييز بين انتقال الحرارة داخل المستوى (موازية للسطح) والمستوى العرضي (عموديًا على السطح).
تُعد الموصلية داخل المستوى أمرًا بالغ الأهمية لتوزيع الحرارة بكفاءة عبر طبقات البطارية أو أشباه الموصلات، في حين أن الموصلية المنخفضة عبر المستوى المستوي أمر مرغوب فيه في الطلاءات ذات الحاجز الحراري مثل الأغشية الرقيقة SiO₂ التي تحمي المكونات الحساسة.
تُظهر المواد ثنائية الأبعاد مثل PdSe₂ تباينًا قويًا في الخواص وتوفر فرصًا واعدة لتحويل الطاقة والإدارة الحرارية المتقدمة.
من أجل الاستفادة الكاملة من هذه المواد، فإن الاختبارات الحرارية المعتمدة على الاتجاهات ضرورية.
الشكل 2: الموصلية الحرارية خارج المستوى وداخل المستوى ل PdSe2 بسمك 297 نانومتر.
يوفر TF-LFA إمكانية قياس التوصيل الحراري لمثل هذه المادة ثنائية الأبعاد ليس فقط في كلا الاتجاهين، ولكن أيضًا في كلا الاتجاهين.
الاتجاهين الرئيسيين، داخل المستوى وخارجه (انظر الشكل 2 ب و2 ج)، بل حتى عبر محور دوران السطح في
مستويات بلورية مختلفة.
*أجرى القياسات الدكتور خوان سيباستيان ريباراز.
الطريقة
الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR)
إن الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR)هي طريقة بصرية غير تلامسية لتحديد الخواص الفيزيائية الحرارية للأغشية الرقيقة. الطبقات الرقيقة والبنى متعددة الطبقات.
وهو يقيس التفاعل الحراري لسطح المادة مع الإثارة الليزرية المعدلة تناسقيًا وبالتالي يتيح التحليل الدقيق دون تلامس ميكانيكي أو تحضير مدمر.
في هذه الطريقة، يقوم ليزر المضخة بتسخين سطح العينة بشكل دوري، بينما يكتشف ليزر المسبار التغيرات الطفيفة في الانعكاسية بسبب تقلبات درجة الحرارة.
يوفر التحول الطوري بين التسخين والتفاعل معلومات مفصلة عن التوصيل الحراري, والانتشار الحراريوالانصبابية السعة الحرارية الحجمية والموصلية الحرارية الحدية
من خلال تحليل الإشارة في مجال التردد، يزيل TF-LFA L54 الأخطاء التجريبية المتعلقة بمدة النبض أو المحاذاة البصرية، مما يضمن ثباتًا ودقة عالية في القياس .
وهذا يجعل FDTR مثاليًا للطبقات الرقيقة والطلاءات , وأشباه الموصلاتالمواد الكهروحرارية والهياكل ثنائية الأبعاد حيث تصل التقنيات التقليدية القائمة على التلامس إلى حدودها القصوى.
مبدأ تشغيل جهاز TF-LFA L54
يحدد جهاز TF-LFA L54 الخواص الفيزيائية الحرارية للأغشية الرقيقة والهياكل متعددة الطبقات باستخدام طريقة الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR)– وهي تقنية بصرية بالكامل وغير تلامسية تعتمد على تعديل الليزر وقياس الانعكاس.
أثناء القياس، يقوم ليزر المضخة المعدل بتسخين سطح العينة بشكل دوري، بينما يراقب ليزر المسبار تغيرات الانعكاس الصغيرة الناتجة عن تقلبات درجة الحرارة الناتجة.
يتم تسجيل الإزاحة الطورية بين الاستثارة الحرارية والإشارة المنعكسة بدقة عالية وتحليلها باستخدام نموذج انتقال الحرارة المعتمد على التردد.
ويستخدم TF-LFA L54 هذه البيانات لحساب معلمات مهمة مثل التوصيل الحراري والانتشارية والانصبابية والسعة الحرارية الحجمية والتوصيل الحراري الحدّي.
يتيح هذا النهج إجراء توصيف دقيق وقابل للتكرار وغير مدمر للأغشية الرقيقة والطلاءات ومواد الطلاء – حتى في الحالات التي تكون فيها طرق التلامس التقليدية غير مناسبة.
المتغيرات المقاسة باستخدام الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR)
إمكانيات تحليل الأغشية الرقيقة باستخدام TF-LFA L54:
- الموصلية الحرارية (λ) – تقيس قدرة الطبقة الرقيقة أو الطبقة المتعددة الطبقات على توصيل الحرارة.
- معامل الانتشار الحراري (α) – يصف مدى سرعة انتشار الحرارة عبر المادة.
- السعة الحرارية الحجمية (ρ-cp) – تشير إلى كمية الحرارة المخزنة لكل وحدة حجم وتغير في درجة الحرارة.
- Effusivity الحرارية (e) – تشير إلى مدى كفاءة الفيلم في تبادل الحرارة مع البيئة المحيطة به.
- التوصيل الحراري للحدود (TBC) – يقيس كفاءة انتقال الحرارة بين الطبقات أو الواجهات.
- التوصيل متباين الخواص – يميز بين انتقال الحرارة داخل المستوى والمستوى العرضي في المواد متباينة الخواص.
- السلوك المعتمد على درجة الحرارة – تحليل التغيرات في الخصائص حتى 500 درجة مئوية تحت أجواء محكومة.
هل لديك أسئلة؟ فقط اتصل بنا!
+49 (0) 9287/880 0
الخميس من الساعة 8 صباحاً حتى 4 عصراً
والجمعة من الساعة 8 صباحاً حتى 12 ظهراً.
نحن هنا من أجلك!
شرح TF-LFA L54 - الوظيفة والاستخدام والإمكانيات
ما هي الأغشية الرقيقة وأين تُستخدم؟
الأغشية الرقيقة:
الأغشية الرقيقة هي مواد يتراوح سمكها بين النانومتر والميكرومتر يتم تطبيقها على الأسطح.
وتختلف خواصها الفيزيائية الحرارية اختلافًا كبيرًا عن خواص المواد السائبة اعتمادًا على سمكها ودرجة حرارتها. تُستخدم الأغشية الرقيقة عادةً في أشباه الموصلات ومصابيح LED وخلايا الوقود ووسائط التخزين الضوئية.
أنواع مختلفة من الأغشية الرقيقة
- طبقة رقيقة: طبقة من بضعة نانومتر إلى ميكرومتر
- تُزرع الأفلام على ركيزة محددة
- تقنيات إزالة الشعر بالشمع النموذجية هي
- تقنية PVD (مثل الاخرق والتبخير الحراري)
- سي دي في دي (سي دي في دي، سي بي سي في دي، أل دى دي)
- إسقاط الصب والطلاء بالدوران والطباعة
- أنواع مختلفة من الأفلام، بما في ذلك
- أغشية أشباه الموصلات (مثل الأغشية الكهروحرارية وأجهزة الاستشعار والترانزستورات)
- أغشية معدنية (تستخدم كملامسات)
- طبقات العزل الحراري
- الطلاءات البصرية
كيف تختلف FDTR عن TDTR؟
يوفر نظامنا المتطور FDTR (الانعكاس الحراري في مجال التردد) مزايا كبيرة مقارنةً بطريقة TDTR (الانعكاس الحراري في مجال الوقت) التقليدية من خلال تحسين الإعداد وتحسين استقرار القياس.
لا حاجة لضبط ليزر المسبار: على عكس ترتيب TDTR، حيث يحتاج ليزر المسبار إلى التعديل بسبب التغيرات الطفيفة في الانعكاس مع تغير العينة بالنسبة للعينة، فإن نظامنا FDTR يلغي هذا الشرط. يحتوي نظامنا على خاصية التركيز التلقائي التي تضبط باستمرار تركيز ليزر المسبار لمراعاة أي تغييرات في العينة، مما يضمن ظروف القياس المثلى دون تدخل يدوي.
أشعة الليزر المحاذاة: بفضل أشعة الليزر المحاذاة تمامًا في نظامنا FDTR، ليست هناك حاجة لضبط شعاع ليزر المسبار، مما يؤدي إلى سهولة وضع العينة وقياسات أكثر استقرارًا.
نطاق قياس أكبر: بفضل نطاق القياس الأكبر، يتفوق جهاز FDTR الخاص بنا على أجهزة TDTR ذات النبضات النانوية. يمكن قياس طبقات العينة الرقيقة والطبقات الرقيقة ذات الموصلية الحرارية الأعلى.
لا افتراضات مطلوبة: تتيح لك خوارزمية التقييم الشاملة الخاصة بنا قياس الطبقات الرقيقة دون أي افتراضات. كل ما تحتاج إلى معرفته هو سُمك العينة.
المزايا:
- نطاق قياس أكبر
- معالجة أسهل
- استقرار أكبر
- نتائج أكثر دقة
- إمكانية قياس مقاومة التلامس الحراري بين اثنين من
- الطبقات
- لا توجد افتراضات بشأن
- السعة الحرارية والكثافة الحرارية للأرق
- عينة من الأفلام
ما هي العينة متعددة الطبقات في تحليل الأغشية الرقيقة؟
عينة متعددة الطبقات
الأغشية الرقيقة (مثل أشباه الموصلات والفلزات والعضوية والأكسيد)
الركائز (مثل Si، Si3N4، زجاج الكوارتز)
ما الفرق بين طريقة 3 أوميغا وطريقة الانعكاس الحراري (طريقة مجس المضخة)؟
طريقة 3-أوميغا هي عملية كهروحرارية يعمل فيها شريط معدني كعنصر تسخين وجهاز استشعار درجة الحرارة في آن واحد. ويؤدي تيار بتردد ω إلى تسخين دوري؛ ويُستخدم مكون الجهد الناتج عند 3 ميغا لتقييم التوصيلية الحرارية والانتشارية والحرارة النوعية للطبقات الرقيقة أو المواد السائبة على الركيزة.
في المقابل، فإن طرق الانعكاس الحراري/مسبار المض خة (على سبيل المثال الانعكاس الحراري في المجال الزمني (TDTR) أو الانعكاس الحراري في المجال الترددي (FDTR) هي طرق بصرية وغير تلامسية: حيث يقوم ليزر مضخة الليزر المعدل أو النبضي بتسخين العينة ويقوم ليزر مسبار بمراقبة التغيرات في الانعكاسية (الانعكاس الحراري) لتتبع ديناميكيات درجة الحرارة واستخراج خصائص النقل الحراري.
الاختلافات العملية المهمة:
- تعد جودة السطح والطلاءات مهمة: تتطلب تقنيات مجس المضخة تطبيق طبقة محول طاقة معدنية (للانعكاس الحراري) وتستفيد من الأسطح النظيفة بصريًا. 3-أوميغا تستخدم عناصر تسخين معدنية منظمة على العينة.
- التفاعل بين الركيزة/الطلاء: غالبًا ما تستخدم 3-أوميغا سخانًا على الركيزة/الغشاء للقياسات داخل المستوى أو عبر المستوى؛ فالانعكاس الحراري حساس جدًا للواجهات والأغشية الرقيقة ويعمل مع الأغشية الرقيقة جدًا.
- المناولة: تتيح الطرق البصرية إمكانية إجراء قياسات بدون تلامس وهي مناسبة للطبقات الصغيرة/الرقيقة؛ بينما تتطلب 3 ميجا هيكلة وتوصيل كهربائي. لذلك، اختر وفقًا لسُمك الطبقة وتصميم الركيزة/الطلاء وإعداد السطح.
ما هي أنواع العينات التي يمكن قياسها بأي تقنية؟ (طريقة الإنتاج، نطاق درجة الحرارة، المناولة، الركيزة، إلخ.)
مبادئ القياس المختلفة مناسبة لأنواع العينات المختلفة:
- طريقة 3-أوميغا: مناسبة للأغشية الرقيقة على الركائز (سمك الغشاء من النانومتر إلى الميكرومتر) أو الركائز الحجمية مع عناصر تسخين منظمة. تصلح لعمليات الترسيب المتعددة (PVD، CVD، الطلاء الدوراني) شريطة أن يكون بالإمكان توصيل عنصر تسخين/مستشعر. قد يتطلب تحضير عينة خاصة وهندسة الركيزة.
- الانعكاس الحراري (مسبار المضخة/مسبار المضخة/مسبار قياس الانعكاس الحراري/مسبار قياس الانعكاس الحراري): مثالية للطبقات الرقيقة للغاية (10 نانومتر إلى عدة ميكرومتر) والطبقات المتعددة الطبقات التي يتم تطبيقها على الركائز باستخدام تقنيات مثل PVD أو CVD أو ALD أو الطلاء المغزلي أو الصب بالإسقاط. يدعم TF-LFA L54، على سبيل المثال، الطبقات من 10 نانومتر إلى 20 ميكرومتر تقريبًا. نطاق درجة الحرارة: بالنسبة للطرق الضوئية، يمكن أن تتراوح درجة حرارة القياس من درجة حرارة الغرفة إلى 500 درجة مئوية تقريبًا (حسب الجهاز) في أجواء خاملة أو مؤكسدة أو مختزلة. المناولة: تتطلب الطرق البصرية أسطحًا نظيفة وترسيب طبقات محول الطاقة وتلامسًا جيدًا بين الركيزة والفيلم. 3-أوميغا 3 تتطلب عناصر تسخين منظمة وأحيانًا أغشية معلقة للقياس داخل المستوى.
- وبالتالي يعتمد الاختيار على سُمك الفيلم ونوع الركيزة ونطاق درجة الحرارة واتجاه القياس المطلوب.
داخل الطائرة مقابل عبر الطائرة - ما هي التقنية التي يمكن استخدامها لأي تطبيق وأيهما أكثر حساسية؟
- يشير القياس داخل المستوى إلى انتقال الحرارة بشكل موازٍ لسطح الغشاء أو الركيزة.
- يشير القياس المستوي المتقاطع إلى انتقال الحرارة بشكل عمودي على سطح الغشاء/الركيزة (من خلال السُمك). وبالنسبة للأغشية الرقيقة والهياكل متعددة الطبقات، فإن كلا الاتجاهين مهمان حيث يحدث التباين في كثير من الأحيان. من الناحية التقنية:
- يمكن تهيئة 3-أوميغا 3 لقياسات المستوى الداخلي والمستوى العرضي على حد سواء، على سبيل المثال، يوفر عنصر التسخين على غشاء معلق بيانات المستوى الداخلي؛ بينما توفر 3-أوميغا 3 التفاضلية على رقائق معدنية + ركيزة بيانات المستوى العرضي.
- عادةً ما يكون الانعكاس الحراري (FDTR/ TDTR) حساسًا جدًا في الاتجاه المستوي، حيث ترصد تغيرات الانعكاس ديناميكيات درجة الحرارة المتعامدة على السطح؛ قد تكون هناك حاجة إلى تكوينات أو تعديلات إضافية للتوصيل الحراري داخل المستوى. ولذلك:
- تعتبر طرق الانعكاس الحراري فعالة بشكل خاص في التوصيل الحراري الدقيق عبر المستوى.
- بالنسبة للقياسات داخل المستوى، يظل 3-أوميغا خيارًا جيدًا (خاصةً بالنسبة للأغشية المهيكلة أو المعلقة). تعتمد الحساسية على هندسة الأغشية وإعداد القياس ونسبة الإشارة إلى الضوضاء – توفر الطرق البصرية حساسية عالية جدًا للأغشية الرقيقة والواجهات.
كم تبلغ تكلفة TF-LFA L54؟
يعتمد سعر نظام TF-LFA L54 على التكوين المختار والخيارات الإضافية، مثل نطاق درجة الحرارة أو نوع الفرن أو نظام التبريد أو وظائف الأتمتة أو أوضاع القياس الخاصة. نظرًا لأن كل نظام يمكن تخصيصه وفقًا لمتطلبات تطبيقك المحددة، يمكن أن تختلف التكاليف بشكل كبير.
للحصول على عرض أسعار دقيق، يُرجى إرسال متطلباتك إلينا عبر نموذج الاتصال الخاص بنا – يسعدنا أن نقدم لك عرض أسعار مخصصًا.
ما هي مدة توصيل سيارة TF-LFA L54؟
يعتمد وقت التسليم لأفران TF-LFA L54 إلى حد كبير على الخيارات والتكوينات المحددة. يمكن أن تؤدي الميزات الإضافية مثل الأفران الخاصة أو نطاقات درجات الحرارة الممتدة أو الأتمتة أو التخصيص إلى زيادة وقت الإنتاج والتجهيز وبالتالي تمديد وقت التسليم.
يرجى الاتصال بنا عبر نموذج الاتصال الخاص بنا للحصول على تقدير دقيق لوقت التسليم بناءً على متطلباتك الفردية.
البرمجيات
جعل القيم مرئية وقابلة للمقارنة
البرمجيات العامة
جميع أجهزة التحليل الحراري من LINSEIS يتم التحكم فيها بالكامل عن طريق الكمبيوتر الشخصي وتعمل في بيئات Microsoft® Windows®.
تنقسم مجموعة البرمجيات إلى ثلاث وحدات بديهية – التحكم في درجة الحرارة والحصول على البيانات وتحليل البيانات – وتضمن عملية سلسة من الإعداد إلى التحليل النهائي.
تم تطوير برنامج LINSEIS بالتعاون مع متخصصي التطبيقات لدينا، وهو يجمع بين سهولة الاستخدام وأمان البيانات والوظائف الشاملة للتشغيل اليومي الفعال.
تشمل الوظائف الأكثر أهمية ما يلي
- Full compatibility with MS® Windows™
- الحماية التلقائية للبيانات في حالة انقطاع التيار الكهربائي
- التقييم في الوقت الحقيقي للقياسات الجارية
- مقارنة منحنيات وتراكب عدة مجموعات بيانات
- تخزين البيانات وتصديرها واستيرادها بتنسيق ASCII أو Excel
برامج التحليل والقياس
يوفر برنامج التقييم أدوات متقدمة للتحليل الحراري المفصل للأغشية الرقيقة والأنظمة متعددة الطبقات.
وباستخدام نموذج نقل الحرارة متعدد الطبقات، فإنه يحدد في نفس الوقت الموصلية الحرارية والانتشارية والانسيابية والسعة الحرارية الحجمية ويتيح أيضًا تحديد مقاومة التلامس وتصور الحساسية واختبارات الجدوى لكل تجربة.
يضمن برنامج القياس التشغيل التلقائي بالكامل مع إدخال بسيط وسهل الاستخدام لجميع معلمات القياس.
يضمن التحكم الدقيق في درجة الحرارة، والنتائج القابلة للتكرار وسير العمل الأمثل – بدءًا من إعداد الاختبار إلى التحديد الكامل للخصائص الحرارية.
مكتبة لينسيس الحرارية
تعد حزمة برامج مكتبة LINSEIS الحرارية خيارًا لبرنامج التقييم LINSEIS Platinum المعروف وسهل الاستخدام، وهو مدمج في جميع أجهزتنا تقريبًا. باستخدام المكتبة الحرارية، يمكنك مقارنة المنحنيات الكاملة بقاعدة بيانات تحتوي على آلاف المراجع والمواد القياسية في ثانية إلى ثانيتين فقط.
متعدد الأدوات
يمكن التحكم في جميع أجهزة LINSEIS DSC وDIL وSTA وHFM وLFA وغيرها من خلال قالب برمجي.
متعدد اللغات
يتوفر برنامجنا بالعديد من اللغات المختلفة التي يمكن للمستخدم تغييرها، بما في ذلك: الإنجليزية، والإسبانية، والفرنسية، والألمانية، والصينية، والكورية، واليابانية، وغيرها.
مولد التقرير
اختيار قالب ملائم لإنشاء تقارير قياس مخصصة.
مستخدمون متعددون
يمكن للمسؤول إعداد مستويات مختلفة من المستخدمين بحقوق مختلفة لتشغيل الجهاز. يتوفر أيضاً ملف سجل كخيار.
البرمجيات الحركية
التحليل الحركي لبيانات DSC وDTA وTGA وEGA (TG-MS وTG-FTIR) لدراسة السلوك الحراري للمواد الخام والمنتجات.
قاعدة البيانات
تتيح قاعدة البيانات المتطورة إدارة البيانات ببساطة مع ما يصل إلى 1000 سجل بيانات.
التطبيقات
الأغشية الرقيقة
في الأنظمة الحديثة للأغشية الرقيقة – مثل أشباه الموصلات أو مصابيح LED أو خلايا الوقود أو وسائط التخزين الضوئية – تختلف خصائص نقل الحرارة اختلافًا كبيرًا عن خصائص المواد السائبة.
وغالبًا ما ينتج انخفاض الموصلية الحرارية عن تأثيرات مثل التشتت البيني أو الشوائب أو حدود الحبيبات أو السلوك المعتمد على السمك.
يستخدم جهاز LINSEIS TF-LFA L54 تقنية الانعكاس الحراري في مجال التردد (FDTR) ويتيح التحليل الحراري غير المتصل وعالي الدقة للأغشية الرقيقة والهياكل متعددة الطبقات في نطاق يتراوح من بضعة نانومترات إلى عدة ميكرومترات.
وهي تحدد معلمات مهمة مثل التوصيل الحراري والانتشارية والانسيابية والسعة الحرارية الحجمية والتوصيل الحراري الحدّي وتوفر معلومات مهمة عن انتقال الحرارة وواجهات الطبقات وأداء المواد.
وبفضل دقته البصرية ونماذج تقييم البيانات المتقدمة، يُعد جهاز TF-LFA L54 الأداة المثالية للبحث ومراقبة الجودة في تطوير الأغشية الرقيقة، مما يضمن الإدارة الحرارية المثلى في مواد وأجهزة الجيل التالي.
مثال تطبيقي: CVD الماس – الموصلية الحرارية
يمكن قياس عينات الماس عالية التوصيل باستخدام جهاز تحليل الترددات الليزرية من لينسيس (TF-LFA L54)، الذي يستخدم تقنية الانعكاس الحراري في مجال التردد لتوصيف السلوك الحراري وضمان مراقبة الجودة في التطبيقات التي يكون فيها تبديد الحرارة بكفاءة أمرًا بالغ الأهمية. تُعد القياسات الدقيقة للتوصيل الحراري ضرورية للتحقق من جودة وأداء عينات الماس، حيث يمكن أن تؤثر عوامل مثل حجم الحبيبات والنقاء والسماكة على خصائص النقل.
قياس الخواص الحرارية للماس CVD. يوضّح المحور x التردد المقيس لوغاريتمياً بالهرتز، بينما يوضّح المحور y إزاحة الطور بين الإثارة بواسطة ليزر المضخة وليزر المسبار. حيث λ هي الموصلية الحرارية، و α هي الموصلية الحرارية، و e هي الموصلية الحرارية و TBC هي الموصلية الحرارية الحدودية بين طبقة محول الطاقة (الذهب) والعينة (الماس). وهي تحدد مدى قدرة مجموعة من المواد على تبادل الحرارة مع بعضها البعض.
يعد الانعكاس الحراري لمجال التردد (FDTR) طريقة مفضلة لقياس التوصيل الحراري في مواد مثل الماس CVD، خاصةً في الأغشية الرقيقة والعينات المجهرية حيث تكون الدقة المكانية العالية ضرورية. ويُعد محلل تردد الليزر لينسيس (TF-LFA) أداة مثالية لهذا الغرض. يستخدم FDTR ليزر مُعدَّل لإحداث تسخين موضعي في العينة ويقيس الاستجابة الحرارية الانعكاسية للمادة
عند ترددات تعديل مختلفة. وباستخدام هذه التقنية، يمكن للباحثين تحديد الموصلية الحرارية من خلال نمذجة تدفق الحرارة عبر الماس وواجهاته.
مثال تطبيقي: فيلم SiO2 الرقيق 504 نانومتر
غالبًا ما تُستخدم الطبقات الزجاجية الرقيقة من ثاني أكسيد السيليكون النقي (الكوارتز) في صناعة أشباه الموصلات والإلكترونيات كطبقة واقية أو كطبقة عازلة حرارية أو إلكترونية. في هذا المثال، تم فحص طبقة SiO2 باستخدام جهاز TF-LFA من Linseis من أجل توصيف خصائصها الحرارية بشكل كامل.
مثال على التطبيق: نيتريد الألومنيوم AIN
غالبًا ما يُستخدم AlN كطبقة عازلة للحرارة أو طبقة عازلة إلكترونية في المستشعرات أو في الإلكترونيات الدقيقة. تم فحص خواصها الحرارية كدالة لسمك الطبقة في هذا التطبيق باستخدام TF-LFA.
على اطلاع جيد
