TFA – 熱電薄膜 – 熱電特性 – 半導体

DCマグネトロンスパッタリング法により作製した厚さ100nmの金（Au）ナノ層について、225Kから375Kの温度範囲で電気伝導率、熱伝導率、ゼーベック係数を測定した。

ZTはこれらのパラメーターから計算された。

この薄膜の熱伝導率と電気伝導率の測定値は、バルク材料の約半分であった。

古典的なサイズ効果の明らかな影響を示す結果を確認したところ、Wiedemann-Franzの法則と完全に一致した。