الخواص الكهربائية

فيلم رقيق
- تحليل

أجهزة قياس لتحليل الأغشية الرقيقة

أجهزة قياس لتحليل الأغشية الرقيقة

تحليل الأغشية الرقيقة TFA

سلسلة تحليل الأغشية الرقيقة من لينسي

تزداد أهمية المعرفة الدقيقة بالخصائص الفيزيائية للأغشية الرقيقة في العديد من فروع الصناعة والتطبيقات. ومن الأمثلة النموذجية على ذلك ما يسمى بالمواد المتغيرة الطور، ووسائط التخزين الضوئية، والمواد الكهروحرارية الحرارية، والصمامات الثنائية الباعثة للضوء، وخلايا الوقود، وذاكرات تغير الطور، والشاشات المسطحة، وصناعة أشباه الموصلات بشكل عام.

تستخدم جميع هذه الصناعات أنظمة أحادية أو متعددة الطبقات لإعطاء جهاز (أو تجميع) وظيفة محددة. نظرًا لأن الخصائص الفيزيائية للطبقات الرقيقة تختلف اختلافًا كبيرًا عن خصائص المواد الصلبة، فمن الضروري تحديد سمكها وخصائصها المعتمدة على درجة الحرارة باستخدام أجهزة قياس مناسبة. ويرجع ذلك إلى أن نسب العرض إلى الارتفاع الكبيرة (سمك الطبقة إلى التمدد الجانبي) غالبًا ما تؤدي إلى تأثيرات إضافية على الحدود والتشتت السطحي، والتي غالبًا ما تؤدي إلى انخفاض كبير في نقل الشحنة والحرارة. وعلاوة على ذلك، هناك مجموعة واسعة من تقنيات الترسيب لإنتاج الأغشية الرقيقة، والتي لها أيضًا تأثير كبير على الخواص المادية للأغشية الرقيقة.

نظرًا لاختلاف متطلبات توصيف الغشاء الرقيق والمادة الصلبة اختلافًا كبيرًا في بعض الحالات، يجب استخدام تقنيات قياس مختلفة للمجالين.

عادةً ما تكون الموصلية الحرارية والتوصيلية الكهربائية للأغشية الرقيقة أقل من تلك الخاصة بالمواد الصلبة المماثلة. على سبيل المثال، يمكن أن تكون الموصلية الحرارية lambda لفيلم أو سلك نانوي من السيليكون بسمك 20 نانومتر في درجة حرارة الغرفة أقل بخمسة أضعاف [1] من نظيره الصلب أحادي البلورة. وبالنسبة لفيلم ذهبي بسمك 100 نانومتر، فقد ثبت أيضًا أن الموصلية الكهربائية والحرارية تنخفض إلى النصف تقريبًا [2]. بشكل عام، يمكن القول إن خواص النقل لا تعتمد فقط على درجة الحرارة، ولكن أيضًا على السُمك بقوة [3].

يمكن أن تُعزى هذه الانخفاضات في التوصيلية بشكل عام إلى سببين أصليين. فمن ناحية، غالبًا ما تؤدي تقنية تركيب الأغشية الرقيقة المستخدمة إلى شوائب وعيوب أكبر في الغشاء الرقيق، مما يؤدي إلى مزيد من الاضطراب والحدود الحبيبية داخل المادة، وهو ما يؤدي بدوره إلى مزيد من التشتت وبالتالي انخفاض التوصيلية الحرارية والتوصيلية الكهربائية. بالإضافة إلى ذلك، يتوقع المرء أيضًا انخفاض التوصيلية الحرارية في الأغشية الرقيقة المثالية ذريًا بسبب التشتت البيني وتسرب الفونونات. ومع ذلك، فإن الآليتين تؤثران على النقل داخل المستوى والنقل عبر المستوى بشكل مختلف، بحيث تُظهر خواص النقل للأغشية الرقيقة عادةً سلوكًا متباين الخواص. ويمكن ملاحظة هذا التأثير حتى إذا كانت المادة الصلبة المقابلة تظهر سلوكًا متساوي الخواص.

[1] Li, Deyu, et al. “التوصيل الحراري لأسلاك السيليكون النانوية الفردية”. رسائل الفيزياء التطبيقية 83.14 (2003): 2934-2936.

[2] Linseis, V., V., Völklein, F., Reith, H., Nielsch, K., and Woias, P. 2018. الخصائص الكهروحرارية للأغشية النانوية من Au و Ti، التي تم توصيفها بمنصة قياس جديدة. المواد اليوم: وقائع، وقائع مؤتمر ECT2017.

[3] Linseis, V., V., Völklein, F., Reith, H., Hühne, R., Schnatmann, L., Nielsch, K., and Woias, P. 2018. الخصائص الكهروحرارية المعتمدة على السماكة ودرجة الحرارة للأغشية النانوية Bi87Sb13 المقاسة بمنصة قياس جديدة. علوم وتكنولوجيا أشباه الموصلات.

هل أنت مهتم بـ محلل الأغشية الرقيقة؟

هل ترغب في إجراء قياس عينة
؟
اتصل بنا اليوم!

سيباستيان

رقم الهاتف: +49 (0) 9287/9287/880 0
[email protected]

تطبيقات الأغشية الرقيقة

روابط سريعة

الوصول إلى وجهتك بسرعة

على اطلاع جيد

التنزيلات

كل شيء في لمحة سريعة

نموذج الاتصال

كيف تعمل المواد الجديدة على تحسين جودة حياتنا بشكل مطرد
منذ قرون.

استخدم نموذج عرض الأسعار لإرسال استفسار محدد للحصول على عرض أسعار.

طلب الخدمة

استخدم نموذج الاتصال لطلب الإصلاح أو الصيانة.