TF-LFA L54: 박막의 열 분석을 위한 주파수 영역 열반사율
LINSEIS TF-LFA L54는 다음을 측정하는 고급 레이저 기반 측정 시스템입니다. 주파수 영역 열반사율(FDTR)기술을 측정하는 고급 레이저 측정 시스템입니다. 박막 및 다층 구조를 측정합니다.
이를 통해 다음을 정밀하게 측정할 수 있습니다. 열 전도성, 열 확산성, 효율 체적 열용량 및 열 한계 전도도 – 단 몇 나노미터의 초박막 층에서도 가능합니다.
연구 및 고급 산업 애플리케이션용으로 설계된 TF-LFA L54는 탁월한 감도, 넓은 온도 범위 (실온에서 최대 500°C), 이방성, 샘플 매핑 및 광학 시각화를 위한 모듈식 옵션이 결합된 제품입니다.
이 혁신적인 시스템은 뛰어난 정밀도, 안정성 및 유연성을 제공하므로 다음과 같은 특성 분석에 이상적입니다. 반도체코팅, 열전 재료, LED 및 기타 첨단 박막 기술의 특성화에 이상적입니다.
고유 기능
광학 기술 업데이트
TF-LFA L54는 박막의 비접촉 열 분석을 위해 주파수 영역 열반사율(FDTR) 방법을 활용합니다.
FDTR 기술의 가장 중요한 장점은 다음과 같습니다.
- 비접촉식 측정 – 기계적 간섭을 제거하고 민감하거나 미세한 시료의 정확도를 극대화합니다.
- 높은 주파수 정확도 – 다양한 박막 재료에 대해 넓은 변조 범위에서 열 특성을 측정할 수 있습니다.
- 향상된 안정성 – 최적화된 광학 정렬과 자동 초점으로 수동 조정 없이도 재현 가능한 결과를 보장합니다.
- 넓은 측정 범위 – 최대 500°C의 온도에서 수 나노미터에서 수 마이크로미터 두께의 층을 분석할 수 있습니다.
새로운 하드웨어 기능
고급 광학 설계
TF-LFA L54는 변조 펌프 레이저(405nm )와 연속 프로브 레이저(532nm )를 갖춘 최첨단 듀얼 레이저 구성으로 정밀한 여기 및 감지가 가능합니다. 이 최적화된 구성은 초박막 코팅에서도 최고의 신호 안정성과 측정 감도를 보장합니다.
자동 초점 조정
통합 자동 초점 시스템이 측정 중에 레이저 위치를 지속적으로 최적화하여 수동 조정이 필요 없고 모든 시료에 대해 재현 가능한 결과를 보장합니다.
열화상 매핑 기능
옵션으로 제공되는 샘플 매핑 모드를 사용하면 샘플 표면의 여러 지점 또는 영역에서 열 특성을 분석할 수 있어 불균일한 층을 검사하거나 코팅의 균일성을 확인하는 데 이상적입니다.
통합 카메라 시스템
옵션으로 제공되는 카메라 모듈은 측정 영역의 라이브 뷰를 제공하므로 레이저 스폿의 정확한 위치 지정과 시료 표면의 육안 검사가 가능합니다.
린세이스랩 링크
린사이스랩 링크는 측정 결과의 불확실성을 제거하기 위한 통합 솔루션을 제공합니다. 소프트웨어를 통해 어플리케이션 전문가에게 직접 액세스하여 올바른 측정 절차 및 결과 분석 방법에 대한 조언을 받을 수 있습니다. 이러한 직접적인 커뮤니케이션은 최적의 결과를 보장하고 측정의 효율성을 극대화하여 정확한 분석 및 연구와 원활한 프로세스 흐름을 보장합니다.
이중 레이저 구성
TF-LFA L54는 변조 펌프 레이저(405nm)와 연속 프로브 레이저(532nm)로 구성된 고정밀 듀얼 레이저 구성입니다.
이 구성은 열 반사 신호의 안정적인 고해상도 감지를 가능하게 하고 나노미터 범위의 초박형 층에서도 정확한 열 측정을 보장합니다.
자동 광학 정렬
통합 자동 초점 및 정렬 시스템이 작동 중에 레이저 초점을 지속적으로 조정합니다.
따라서 수동 보정이 필요하지 않으므로 측정 조건이 일관되고 재현성이 향상되며 작업자의 영향이 줄어듭니다.
Hihglights
포괄적인 열 특성 분석:
- 열전도율, 열용량, 열확산도, 열효율을 측정합니다.
- 인접한 두 레이어 사이의 열 접촉을 결정합니다.
이방성 기능:
-
관통 방향(재료를 관통)과 평면(레이저 여기와 수직) 모두에서 열전도도를 측정하는 옵션 기능입니다.
넓은 온도 범위:
-
이 장치는 최대 500°C의 실온에서 박막의 열 특성을 측정할 수 있습니다.
열화상:
-
옵션으로 제공되는 샘플 매핑 기능을 사용하면 표면의 특정 영역 또는 지점에서 샘플의 열 특성을 추적할 수 있어 균질성 테스트에 이상적입니다.
자동 최적화 및 카메라 옵션:
- 레이저 빔의 자동 최적화를 통해 측정 결과를 개선합니다.
-
시각적 정보를 제공하고 샘플 표면에서 관심 지점을 쉽게 선택할 수 있는 추가 카메라 옵션입니다.
열 접촉 저항/전도성 값 측정:
-
시료와 표면 또는 시료와 트랜스듀서 층 등 두 층 사이의 열 접촉을 측정합니다.
주요 기능

비접촉식 광학 측정
주파수 영역 열반사율(FDTR) 을 사용하는 TF-LFA L54는 레이저 기반 정밀도로 비접촉 열 분석을 수행하므로 민감한 박막 및 미세 구조에 이상적입니다.

포괄적인 열 특성 분석
이 시스템은 밀도나 열 용량에 대한 가정 없이 열 전도성, 확산성, 유출성, 체적 열 용량 및 열 한계 전도성을 동시에 결정합니다.

자동 초점 및 정렬
통합 자동 초점 시스템은 작동 중에 레이저 위치를 지속적으로 조정하여 각 샘플에 대해 최대의 안정성, 반복성 및 측정 정확도를 보장합니다.

통합 LINSEIS 플랫폼
통합된 LINSEIS 소프트웨어는 하드웨어와 소프트웨어를 결합한 종합 솔루션을 제공하여 공정 안정성과 정밀도를 극대화합니다. 표준화된 플랫폼을 통해 외부 파트너의 구성 요소와 장치를 원활하게 통합할 수 있어 특히 견고하고 안정적인 전체 시스템을 구축할 수 있습니다.
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사양
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초박막 층 기능: 10nm에서 20µm의 층을 분석합니다.

고온 작동: 통제된 대기에서 최대 500°C까지 측정 가능

넓은 측정 범위: 0.01~2000W/m-K의 열 전도성
최첨단 박막 분석을 위해 개발된 강력한 TF-LFA에 대해 알아보세요:
- 측정 방법: 비접촉식 레이저 기반 열 분석을 위한 주파수 영역 열반사율(FDTR)
- 분석된 매개변수: 열 전도성, 확산성, 유출성, 체적 열 용량 및 계면 전도성
- 광학 정렬: 안정성과 정밀도를 극대화하기 위한 자동 초점 기능을 갖춘 듀얼 레이저 구성
- 이방성 옵션: 다층 및 2D 재료의 평면 내 및 평면 간 열전도도 측정
- 열 매핑: 필름 균질성 및 코팅 품질 평가를 위한 표면 매핑 모드
이방성 측정 – 모든 방향의 열 전도성 측정
TF-LFA L54는 열전도율의 이방성을 정밀하게 측정할 수 있어 얇은 층과 다층 구조에서 평면 내 및 평면 간 열전달을 모두 측정할 수 있습니다.
이 기능은 다음과 같은 첨단 소재에 필수적입니다. 반도체열전, 2D 결정 및 배터리 배터리 부품 열 흐름의 방향이 성능과 신뢰성에 중대한 영향을 미치는 첨단 소재에 필수적입니다.
의 도움으로 주파수 영역 열반사율(FDTR) 의 도움으로 이 시스템은 비접촉식 방향별 데이터를 매우 정확하게 제공하여 연구자들이 복잡한 이방성 물질의 열 거동을 완전히 이해하고 최적화할 수 있도록 합니다.
열전도율의 이방성
최신 배터리 및 전자 부품의 개발에서 열 흐름의 방향은 성능과 안전성에 결정적인 영향을 미치는 요소입니다.
재료의 열전도도는 방향에 따라 달라질 수 있으므로( 이방성이라고 알려진 현상) 평면 내 (표면과 평행) 열전달과 평면 간 (표면과 수직) 열전달을 구분하는 것이 중요합니다.
평면 내 전도도는 배터리 또는 반도체 층의 효율적인 열 분배에 매우 중요하며, 민감한 부품을 보호하는 SiO₂ 박막과 같은 열 차단 코팅에서는 낮은 교차 평면 전도도가 바람직합니다.
PdSe₂와 같은 2차원 재료는 강력한 이방성을 나타내며 에너지 변환 및 첨단 열 관리에 유망한 기회를 제공합니다.
이러한 소재를 충분히 활용하기 위해서는 방향에 따른 열 테스트가 필수적입니다.
그림 2: 297nm 두께의 PdSe2의 평면 외 및 평면 내 열 전도성.
TF-LFA는 이러한 2D 재료의 열전도도를 양방향뿐만 아니라 양방향으로 측정할 수 있는 가능성을 제공합니다.
주요 방향, 평면 내부 및 외부 (그림 2 b 및 2 c 참조), 표면의 회전축을 두 개로 가로 질러도 마찬가지입니다.
다른 결정학적 수준.
*측정은 후안 세바스티안 레파라즈 박사가 수행했습니다.
방법
주파수 영역 열반사율(FDTR)
그리고 주파수 영역 열반사율(FDTR)기술은 박막의 열물리학적 특성을 측정하기 위한 광학 비접촉식 방법입니다. 얇은 층 및 다층 구조.
조화롭게 변조된 레이저 여기에 대한 재료 표면의 열 반응을 측정하므로 기계적 접촉이나 파괴적인 준비 없이도 정밀한 분석이 가능합니다.
이 방법에서는 펌프 레이저가 주기적으로 시료 표면을 가열하고 프로브 레이저가 온도 변동으로 인한 반사율의 미세한 변화를 감지합니다.
가열과 반응 사이의 상 변화는 다음에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 열 전도성, 열 확산성, 효율성에 대한 자세한 정보를 제공합니다, 체적 열용량 및 열 제한 전도도.
주파수 영역 에서 신호를 분석하여 펄스 지속 시간이나 광학 정렬과 관련된 실험적 오류를 제거하여 높은 측정 안정성과 정확도를 보장하는 TF-LFA L54.
따라서 FDTR은 얇은 층과 코팅에 이상적입니다, 반도체열전 재료 및 기존 접촉 기반 기술이 한계에 도달하는 2D 구조물에 적합합니다.

TF-LFA L54의 작동 원리
TF-LFA L54는 레이저 변조 및 반사율 측정에 기반한 완전 광학 비접촉식 기술인 주파수 영역 열반사율(FDTR) 방법을 사용하여 박막 및 다층 구조의 열물리학적 특성을 측정합니다.
측정하는 동안 변조 펌프 레이저가 주기적으로 시료 표면을 가열하고 프로브 레이저가 온도 변동으로 인한 미세한 반사 변화를 모니터링합니다.
열 여기와 반사된 신호 사이의 위상 이동을 고정밀로 기록하고 주파수 의존적 열 수송 모델을 사용하여 분석합니다.
TF-LFA L54는 이 데이터를 사용하여 열 전도성, 확산성, 유출성, 체적 열 용량 및 열 한계 전도성과 같은 중요한 매개 변수를 계산합니다.
이 접근 방식을 사용하면 기존의 접촉 방법이 적합하지 않은 경우에도 박막, 코팅 및 코팅 재료의 정확하고 재현 가능하며 비파괴적인 특성 분석이 가능합니다.
주파수 영역 열반사율(FDTR)로 측정된 변수
TF-LFA L54를 사용한 박막 분석의 가능성:
- 열전도율(λ) – 박막 또는 다층이 열을 전도하는 능력을 정량화합니다.
- 열 확산 계수(α) – 는 소재를 통해 열이 얼마나 빨리 퍼지는지를 나타냅니다.
- 부피 열용량(ρ-cp) – 는 단위 부피당 저장된 열량과 온도 변화를 나타냅니다.
- 열 효율(e) – 필름이 주변 환경과 얼마나 효율적으로 열을 교환하는지를 나타냅니다.
- 열경계 전도도(TBC) – 레이어 또는 인터페이스 간의 열전달 효율을 측정합니다.
- 이방성 전도도 – 이방성 재료에서 평면 내 열 전달과 평면 간 열 전달을 구분합니다.
- 온도에 따른 동작 – 제어된 대기에서 최대 500°C까지의 속성 변화를 분석합니다.
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TF-LFA L54 설명 - 기능, 용도 및 성능
박막이란 무엇이며 어디에 사용되나요?

박막:
박막은 표면에 적용되는 나노미터에서 마이크로미터 두께의 재료입니다.
박막은 두께와 온도에 따라 열물리학적 특성이 벌크 재료와 상당히 다릅니다. 박막은 일반적으로 반도체, LED, 연료 전지 및 광학 저장 매체에 사용됩니다.
다양한 유형의 박막
- 박막: 수 나노미터에서 µ미터의 층
- 필름은 특정 기판에서 성장합니다.
- 일반적인 왁싱 기술은 다음과 같습니다.
- PVD(예: 스퍼터링, 열 기화)
- CVD(PECVD, LPCVD, ALD)
- 드롭 캐스팅, 스핀 코팅 및 인쇄
- 다음을 포함한 다양한 유형의 영화
- 반도체 필름(예: 열전 필름, 센서, 트랜지스터)
- 금속 필름(접점으로 사용)
- 단열층
- 광학 코팅
FDTR은 TDTR과 어떻게 다른가요?
키사이트의 고급 FDTR(주파수 영역 열반사율) 시스템은 설정을 최적화하고 측정 안정성을 개선하여 기존 TDTR(시간 영역 열반사율) 방식에 비해 상당한 이점을 제공합니다.
프로브 레이저를 조정할 필요가 없음: 시료에 대한 상대적인 변화에 따라 약간의 반사 변화로 인해 프로브 레이저를 조정해야 하는 TDTR 배열과 달리, 당사의 FDTR 시스템은 이러한 요구 사항을 제거합니다. 당사의 시스템에는 시료의 변화를 고려하여 프로브 레이저의 초점을 지속적으로 조정하는 자동 초점 기능이 있어 수동 개입 없이도 최적의 측정 조건을 보장합니다.
정렬된 레이저: FDTR 시스템의 완벽하게 정렬된 레이저 덕분에 프로브 레이저 빔을 조정할 필요가 없으므로 시료 배치가 더 쉬워지고 측정이 더 안정적입니다.
더 넓은 측정 범위: 측정 범위가 더 넓은 FDTR은 나노 펄스 TDTR 설정보다 더 뛰어난 성능을 발휘합니다. 더 얇은 시료 층과 열전도율이 높은 얇은 층을 측정할 수 있습니다.
가정이 필요 없습니다: 당사의 포괄적인 평가 알고리즘을 사용하면 어떤 가정도 없이 얇은 층을 측정할 수 있습니다. 시료 두께만 알면 됩니다.
장점:
- 더 넓은 측정 범위
- 손쉬운 취급
- 안정성 향상
- 더 정확한 결과
- 둘 사이의 열 접촉 저항을 측정할 수 있습니다.
- 레이어
- 에 대한 가정은 없습니다.
- 시너의 열용량 및 밀도
- 샘플 필름
박막 분석에서 다층 시료란 무엇인가요?
다층 샘플

박막(예: 반도체, 금속, 유기, 산화물)
기판(예: Si, Si3N4, 석영 유리)
3-오메가 방식과 열반사 방식(펌프-프로브 방식)의 차이점은 무엇인가요?
3-오메가 방식은 금속 스트립이 발열체와 온도 센서 역할을 동시에 수행하는 전열 공정입니다. 주파수 ω의 전류가 주기적인 가열을 유도하고, 3Ω의 결과 전압 성분은 기판의 얇은 층 또는 벌크 재료의 열전도도, 확산도 및 비열을 평가하는 데 사용됩니다.
반면, 열반사율/펌프-프로브 방법 (예: 시간 영역 열반사율(TDTR) 또는 주파수 영역 열반사율(FDTR))은 변조 또는 펄스 펌프 레이저가 샘플을 가열하고 프로브 레이저가 반사율(열반사율) 변화를 모니터링하여 온도 역학을 추적하고 열 전달 특성을 추출하는 광학 및 비접촉식 방식입니다.
중요한 실질적인 차이점:
- 표면 품질과 코팅이 중요합니다. 펌프 프로브 기술은 금속 트랜스듀서 층(열반사율용)을 적용해야 하며 광학적으로 깨끗한 표면의 이점을 누릴 수 있습니다. 3-Omega는 시료에 구조화된 금속 발열체를 사용합니다.
- 기판/코팅 상호 작용: 3-Omega는 평면 내 또는 교차 평면 측정을 위해 기판/필름에 히터를 사용하는 경우가 많으며, 열반사율은 인터페이스와 박막에 매우 민감하고 매우 얇은 필름에서 작동합니다.
- 취급: 광학 방식은 비접촉 측정이 가능하고 작거나 얇은 층에 적합하며, 3-오메가는 구조화 및 전기 연결이 필요합니다. 따라서 필름 두께, 기판/코팅 디자인 및 표면 준비에 따라 선택해야 합니다.
어떤 시료 유형을 어떤 기술로 측정할 수 있나요? (생산 방법, 온도 범위, 취급, 기질 등)
시료 유형에 따라 다른 측정 원리가 적합합니다:
- 3-오메가 방법: 기판의 박막(필름 두께가 나노미터에서 마이크로미터까지) 또는 구조화된 발열체가 있는 부피가 큰 기판의 박막에 적합합니다. 히터/센서 소자를 부착할 수 있는 경우 여러 증착 공정(PVD, CVD, 스핀 코팅)에 사용할 수 있습니다. 특수 시료 준비 및 기판 형상이 필요할 수 있습니다.
- 열반사율(펌프-프로브/FDTR/TDTR): 초박막 레이어(10nm~수 µm) 및 PVD, CVD, ALD, 스핀 코팅 또는 드롭 캐스팅과 같은 기술을 사용하여 기판에 적용되는 다층 스택에 이상적입니다. 예를 들어 TF-LFA L54는 10nm에서 ~20µm의 레이어를 지원합니다. 온도 범위: 광학 방식의 경우 측정 온도는 불활성, 산화 또는 환원 분위기에서 실온에서 ~500°C(장치에 따라 다름)까지 다양합니다. 취급: 광학 방식은 깨끗한 표면, 트랜스듀서 층의 증착, 기판과 필름 사이의 양호한 접촉이 필요합니다. 3-Omega는 평면 내 측정을 위해 구조화된 발열체와 때때로 부유 막이 필요합니다.
- 따라서 선택은 필름 두께, 기판 유형, 온도 범위 및 필요한 측정 방향에 따라 달라집니다.
인-플레인과 크로스-플레인 - 어떤 애플리케이션에 어떤 기술을 사용할 수 있고 어떤 기술이 더 민감할까요?
- 평면 내 측정은 필름 또는 기판의 표면과 평행한 열 전달을 의미합니다.
- 교차 평면 측정은 필름/기판 표면에 수직으로(두께를 통해) 열이 전달되는 것을 말합니다. 박막 및 다층 구조의 경우 이방성이 자주 발생하므로 양방향이 모두 중요합니다. 기술적인 측면에서 보면
- 3-Omega는 평면 내 및 교차 평면 측정 모두에 대해 구성할 수 있습니다(예: 부유 막의 가열 요소는 평면 내 데이터를 제공하고, 호일 + 기판의 차동 3-Omega는 교차 평면 데이터를 제공합니다).
- 반사율 변화는 표면에 수직인 온도 역학을 모니터링하기 때문에 일반적으로 열 반사율(FDTR/TDTR)은 평면 교차 방향에서 매우 민감하며, 평면 내 열 전도성을 위해 추가 구성 또는 수정이 필요할 수 있습니다. 따라서
- 열반사 방법은 평면 전체에 걸쳐 정확한 열 전도도를 구현하는 데 특히 효과적입니다.
- 평면 내 측정의 경우, 3-Omega는 여전히 좋은 선택입니다(특히 구조화 또는 부유 필름의 경우). 감도는 필름 형상, 측정 설정 및 신호 대 잡음비에 따라 달라지며, 광학 방법은 박막과 인터페이스에 매우 높은 감도를 제공합니다.
TF-LFA L54의 가격은 얼마인가요?
TF-LFA L54 시스템의 가격은 선택한 구성과 온도 범위, 오븐 유형, 냉각 시스템, 자동화 기능 또는 특수 측정 모드와 같은 추가 옵션에 따라 달라집니다. 각 시스템은 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 맞춤화할 수 있으므로 비용은 상당히 다를 수 있습니다.
정확한 견적을 원하시면 문의 양식을 통해 요구 사항을 보내 주시면 맞춤형 견적을 제공해 드리겠습니다.
TF-LFA L54의 배송 기간은 얼마나 걸리나요?
TF-LFA L54의 배송 시간은 선택한 옵션과 구성에 따라 크게 달라집니다. 특수 오븐, 확장된 온도 범위, 자동화 또는 사용자 지정과 같은 추가 기능을 사용하면 생산 및 준비 시간이 늘어나 배송 시간이 연장될 수 있습니다.
문의 양식을 통해 문의하시면 개별 요구 사항에 따라 정확한 배송 시간 견적을 받으실 수 있습니다.
소프트웨어
값을 가시화하고 비교 가능하게 만들기
일반 소프트웨어
모든 LINSEIS 열화상 분석기는 완전히 PC로 제어되며 Microsoft® Windows® 환경에서 실행됩니다.
이 소프트웨어 제품군은 온도 제어, 데이터 수집 및 데이터 분석의 세 가지 직관적인 모듈로 나뉘며 설정부터 최종 분석까지 원활한 프로세스를 보장합니다.
LINSEIS 소프트웨어는 애플리케이션 전문가와 협업하여 개발되었으며 사용자 친화성, 데이터 보안, 일상적인 업무의 효율화를 위한 포괄적인 기능을 결합했습니다.
가장 중요한 기능은 다음과 같습니다.
- MS® Windows™와의 완벽한 호환성
- 정전 시 자동 데이터 보호
- 진행 중인 측정의 실시간 평가
- 여러 데이터 세트의 곡선 비교 및 오버레이
- ASCII 또는 Excel 형식의 데이터 저장, 내보내기 및 가져오기
분석 및 측정 소프트웨어
평가 소프트웨어는 박막 및 다층 시스템의 상세한 열 분석을 위한 고급 도구를 제공합니다.
다층 열전달 모델을 사용하여 열 전도성, 확산성, 유출성 및 체적 열 용량을 동시에 결정하고 각 실험에 대한 접촉 저항, 감도 시각화 및 타당성 테스트를 결정할 수 있습니다.
측정 소프트웨어는 모든 측정 파라미터를 간단하고 사용자 친화적으로 입력할 수 있는 완전 자동 작동을 보장합니다.
테스트 설정부터 완전한 열 특성 측정에 이르기까지 정밀한 온도 제어, 재현 가능한 결과, 최적화된 워크플로우를 보장합니다.
LINSEIS 열 라이브러리
LINSEIS 열 라이브러리 소프트웨어 패키지는 잘 알려져 있고 사용자 친화적인 LINSEIS 플래티넘 평가 소프트웨어의 옵션으로, 거의 모든 장치에 통합되어 있습니다. 열 라이브러리를 사용하면 단 1~2초 만에 전체 곡선을 수천 개의 레퍼런스 및 표준 자료가 포함된 데이터베이스와 비교할 수 있습니다.
다중 악기
모든 LINSEIS 계측기 DSC, DIL, STA, HFM, LFA 등은 소프트웨어 템플릿을 통해 제어할 수 있습니다.
다국어
저희 소프트웨어는 사용자가 변경할 수 있는 다양한 언어로 제공됩니다: 영어, 스페인어, 프랑스어, 독일어, 중국어, 한국어, 일본어 등을 지원합니다.
보고서 생성기
맞춤형 측정 보고서 작성을 위한 편리한 템플릿 선택.
여러 사용자
관리자는 디바이스 작동에 대한 다양한 권한을 가진 다양한 사용자 레벨을 설정할 수 있습니다. 로그 파일도 옵션으로 사용할 수 있습니다.
키네틱 소프트웨어
원료 및 제품의 열 거동을 조사하기 위한 DSC, DTA, TGA 및 EGA 데이터(TG-MS, TG-FTIR)의 동역학 분석.
데이터베이스
최첨단 데이터베이스를 통해 최대 1,000개의 데이터 레코드로 간편하게 데이터를 관리할 수 있습니다.
애플리케이션 (Application)
박막
반도체, LED, 연료 전지 또는 광학 저장 매체와 같은 최신 박막 시스템에서는 열전달 특성이 벌크 재료의 특성과 상당히 다릅니다.
열전도율 감소는 계면 산란, 불순물, 입자 경계 또는 두께에 따른 거동과 같은 영향으로 인해 발생하는 경우가 많습니다.
LINSEIS TF-LFA L54는 주파수 영역 열반사율 기술(FDTR) 을 사용하여 수 나노미터에서 수 마이크로미터 범위의 박막 및 다층 구조에 대한 비접촉 고정밀 열 분석을 가능하게 합니다.
열전도도, 확산도, 유출률, 체적 열용량 및 열한계 전도도와 같은 중요한 파라미터를 결정하고 열전달, 층 인터페이스 및 재료 성능에 대한 중요한 정보를 제공합니다.
광학 정밀도와 고급 데이터 평가 모델을 갖춘 TF-LFA L54는 박막 개발 연구 및 품질 관리에 이상적인 장비로 차세대 재료 및 디바이스에서 최적화된 열 관리를 보장합니다.
적용 사례: CVD 다이아몬드 – 열 전도성
전도성이 높은 다이아몬드 샘플은 주파수 영역 열반사율 기술을 사용하여 열 거동을 특성화하고 효율적인 열 방출이 중요한 응용 분야에서 품질 관리를 보장하는 Linseis 레이저 주파수 분석기(TF-LFA L54)로 측정할 수 있습니다. 입자 크기, 순도 및 두께와 같은 요소가 운송 특성에 영향을 미칠 수 있으므로 정확한 열전도도 측정은 다이아몬드 샘플의 품질과 성능을 검증하는 데 필수적입니다.
CVD 다이아몬드의 열적 특성 측정. x축은 로그 스케일링된 주파수를 헤르츠 단위로 표시하고 y축은 펌프 레이저와 프로브 레이저에 의한 여기 사이의 위상 변화를 나타냅니다. 여기서 λ는 열 전도도, α는 열 전도율, e는 열 효율, TBC는 변환기 층(금)과 시료(다이아몬드) 사이의 열 경계 전도도입니다. 이는 재료의 조합이 서로 열을 얼마나 잘 교환할 수 있는지를 결정합니다.
주파수 영역 열반사율(FDTR)은 특히 높은 공간 분해능이 필수적인 박막 및 마이크로 샘플에서 CVD 다이아몬드와 같은 재료의 열전도도를 측정하는 데 선호되는 방법입니다. Linseis 레이저 주파수 분석기(TF-LFA)는 이러한 목적에 이상적인 도구입니다. FDTR은 변조된 레이저를 사용하여 시료의 국부적인 가열을 유도하고 재료의 열 반사 반응을 측정합니다.
다른 변조 주파수에서. 이 기술을 사용하여 연구자들은 다이아몬드와 그 계면을 통과하는 열 흐름을 모델링하여 열 전도도를 측정할 수 있습니다.
적용 예: SiO2 박막 504nm
순수한 이산화규소(석영)로 이루어진 얇은 유리 층은 반도체 및 전자 산업에서 보호 층 또는 열 또는 전자 절연 층으로 자주 사용됩니다. 이 예에서는 열 특성을 완전히 파악하기 위해 Linseis의 TF-LFA 장치로 SiO2 층을 검사했습니다.
적용 사례: 질화알루미늄 AIN
AlN은 센서나 마이크로 일렉트로닉스에서 단열층 또는 전자 절연층으로 자주 사용됩니다. 이 애플리케이션에서는 TF-LFA를 사용하여 층 두께에 따른 열 특성을 조사했습니다.
충분한 정보 제공