TFA-薄膜的表征

导热系数、电阻率、电导率、塞贝克效应,薄膜的霍尔效应和辐射

     系统主要特点:

 

高效便捷的薄膜材料表征手段nm到um薄膜测试)

不同温度下的测量(-170 to 200<-可选300>

样品易于制备和处理

高的测量适应性 (样品厚度,电阻率,沉积方式)

一个样品,一次同步测量即可获得所有相关参数。

适用于金属、陶瓷及有机材料。

 

基本测量单元 

 

测量室,真空泵,带加热器的支架电子颊侧装置,集成锁相放大器,3w方法分析软件,计算机和应用软件下物理参数

 

• l -热传导系数 (稳态法/平面内方向)

• r - 电阻率

 s - 电导率

• S - 赛贝克系数

 e – 发射率

• cp - 比热容

 

测量单元

 

可根据需求选择集成式电磁铁,可测物理参数如下:

• AH - 霍尔常数

• μ –迁移率

• n -载流子浓度

 

薄膜材料性能有别于块体材料之处

-        小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如:边界散射和量子限域效应