TFA 薄膜导热测试仪 - Thin Film Analysis

Thin Film Analysis - Measuring samples from 20 nm up to 80 µm

     薄膜的物理性能研究在工业上变得越来越重要,如:相变光盘介质、热电材料、发光二极管(LED)、相变存储器、平板显示器和半导体行业。在这些工业领域中,特定功能沉积膜生长在基底上以实现器件的特殊功能。由于薄膜的物理性质与块体材料不同,在许多应用中需要专门测定薄膜的参数。

    基于已实现的激光闪射技术,LINSEIS“薄膜–闪射”设备可以测量80纳米到20μm厚度薄膜的热物理性质。