TFA- Badanie cienkich warstw

Przewodnictwo cieplne, oporność elektryczna, przewodnictwo elektryczne, efekt Seebeck’a, efekt Hall’a i emisyjność cienkich warstw

Nowe rozwiązania, nowe możliwości

Rewolucyjny system pomiarów właściwości fizycznych cienkich warstw (thin films)

Analizator cienkich warstw jest znakomitym narzędziem, pozwalającym na charakteryzowanie właściwości próbek, w łatwy i szybki sposób. Kompletny system, dostarcza wiarygodnych wyników, dzięki opatentowanemu układowi pomiarowemu. Dużą zaletą aparatury jest mozliwość pomiaru jednoczesnego szerokiego spektrum właściwości fizycznych, podczas jednego eksperymentu.

 

Podstawowa charakterystyka urządzenia:

Specjalistyczna aparatura, pozwalająca na pomiar właściwości fizycznych cieknich warstw (zakres od nm do μm) Pomiar jako funkcja temperatury (do 170°C do 200°C, opcjonalnie do 300°C)

 

Łatwe i wygodne przygotowanie próbek

Uniwersalny system badawczy, odpowiedni do różnego rodzaju próbek (grubość, oporność, sposób uzyskania)

 

Pomiar wszystkich właściwości jest przeprowadzony równocześnie

Możliwość pomiaru próbek o właściwościach metalicznych, ceramik lub warstw organicznych

 

Budowa aparatu

Urządzenie składa sięz komory pomiarowej, pompy próżniowej, układu mocującego próbkę z systemem grzewczym, elektroniki pomiarowej, zintegrowanego wzmacniacza, oprogramowania do metody 3ωpakietu oprogramowania służącego do opracowania danych LINSEIS.

Zastosowaniem aparatu jest pomiar następujących właściwości fizycznych:

• l - przewodnictwo cieplne (steady state & transient / in plane)

• r - opór elektryczny

• s - przewodnictwo elektryczne

• S – współczynnik Seebeck’a

• ɛ – zdolność emisyjna

• cp – ciepło właściwe

 

Pakiet magnetyczny

Opcjonalny pakietmagnetyczny pozwala na pomiar takich parametrów jak:

• AH – stała Hall’a

• μ – mobilność (obliczenia oparte na modelu)

• n – pomiar ładunku (charge carrier concentration –obliczenia w zależności od modelu)

 

Właściowości fizyczne cienkich warstw są inne niż proszków lub próbek litych

• Specyficzne efekty powierzchniowe odgrywają większą rolę z powodu małych rozmiarów i
   współczynnika kształtu (np. boundary scattering)

• nie można zaniedbać efektów kwantowych