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TFA – caractérisation des couches minces

conductivité thermique, résistivité électrique, conductivité électrique, effet Seebeck, effet Hall et émissivité des couches minces

Description

Nouvelles possibilités analytiques excitantes

Révolutionnaire : le nouvel analyseur des propriétés physiques des couches minces

L’analyseur couche mince de Linseis est la solution idéale pour caractériser une grande diversité d’échantillons de couches minces avec un maximum de confort dans un minimum de temps. C’est un appareil qui a été travaillé pour être le plus ergonomique possible et donnant des résultats de la plus haute qualité grâce à un système autonome unique et en attente d’un brevet.

L’avantage certain que ce système vous apporte, c’est qu’il peut déterminer simultanément toutes les propriétés physiques intéressantes d’un échantillon.

Les caractéristiques techniques principales :

Système haute qualité et facile à utiliser pour la caractérisation des couches minces (nm jusqu’à plusieurs µm) Mesures en fonction de la température (170 à 200°C, avec option 300°C) Préparation et manipulation aisée de l’échantillon Grande variabilité de l’échantillon en ce qui concerne son épaisseur, sa résistivité et les méthodes de dépôt Toutes les analyses s’effectuent dans une seule mesure et sur un seul échantillon Analyse d’échantillons métalliques, céramiques ou organiques

Appareil de base:

Se compose de la chambre de mesure, d’une pompe à vide, d’un porte-échantillon de base avec chauffage inclus, l’électronique de mesure, l’amplificateur intégré lock-in, l’électronique et le logiciel d’évaluation de la méthode 3w.d’un PC et d’un logiciel Linseis. La conception est optimisée pour mesurer les propriétés physiques suivantes:

  • λ- conductivité thermique (état ​​d’équilibre / dans le plan)
  • ρ – résistivité électrique
  • σ – la conductivité électrique
  • S – Coefficient Seebeck
  • ε – émissivité
  • Cp –capacité thermique

Ensemble « aimant »:

Electro-aimant optionnel pour la mesure de paramètres suivants :

  • AH– Constante de Hall
  • μ – Mobilité (calcul selon différents modèles)
  • n – concentration de porteurs de charge (calcul selon différents modèles)

Les propriétés thermophysiques des couches minces sont différentes de celles du matériau en bulk

  • Due aux effets de surface prédominant due aux rapports surface-volume plus important
    des couches minces (par exemple aux effets tels que la dispersion aux interfaces
  • Due au confinement quantique

 

TFA with magnetic option

TFA mit Magnetoption

 

Nous allons vous aider:

Linseis division ventes

Tél.: +49 (9287) 880-0
E-mail: info@linseis.de

Caractéritiques

TFA Frontansicht

Main System Characteristics

  • High quality, easy to use characterization system for thin films (nm to µm range).
  • Temperature dependent measurements (-170 to +200°C – optional 300°C).
  • Easy sample preparation and handling.
  • Chip based measurement device with pre structered chips as consumeables.
  • High measurement flexibility (sample thickness, sample resistivity, deposition methods).
  • All measurements are taken from same sample in one run.
  • It is possible to measure samples with metallic behavior as well as ceramics or organics.
Modell TFA-Thin Film Analyzer
Temperaturbereich:  RT up to 200°C
-170°C up to 300°C
Sample thickness: From nm to µm range (depends on sample)
Measurement principle: Chip based (pre-structured measurement chips, 15 pcs. per box)
Deposition techniques: Include: PVD (sputtering, evaporation), ALD, Spin coating, Ink-Jet Printing and more
Measured parameters: Electrical Conductivity / Resistivity
Seebeck Coefficient
Optional: Thermal Conductivity (3 Omega)
Specific Heat
Hall Constant / Mobility / Charge carrier conc.
Electromagnet up to 1 T
Vacuum: up to 10E-5mbar
Electronics: Integrated
Interface: USB
– (Unsichtbar, siehe EXTRA CLASS NAME unten) – – (Unsichtbar, siehe EXTRA CLASS NAME unten) –
Measurement range
Thermal Conductivity: 0.05 up to 200 W/m∙K
Electrical Resistivity: 0.05 up to 1 ∙ 10E6S/cm
Seebeck Coefficient: 5 up to 2500 μV/K
Repeatability & Accuracy
Thermal Conductivity: ± 10% (for most materials)
Electrical Resistivity: ± 6% (for most materials)
Seebeck Coefficient: ± 7% (for most materials)

Logiciel

All thermo analytical devices of LINSEIS are PC controlled, the individual software modules exclusively run under Microsoft® Windows® operating systems.

The complete software consists of 3 modules: temperature control, data acquisition and data evaluation. The Linseis 32 – bit software encounters all essential features for measurement preparation, execution and evaluation, just like with other thermo analytical experiments.

 

General Features

  • Fully compatible MS® Windows™ 32 – bit software
  • Data security in case of power failure
  • Thermocouple break protection
  • Evaluation of current measurement
  • Curve comparison
  • Storage and export of evaluations
  • Export and import of data ASCII
  • Data export to MS Excel

Measurement Software

  • Easy and user-friendly data input for temperature segments, gases etc.
  • Software automatically displays corrected measurements after the energy pulse
  • Fully automated measurement

TFA Software

Evaluation Software

  • Model wizard for selection of the appropriate model
  • Direct evaluation of the measured data for the calculation of
    • Thermal conductivity
    • Specific heat
    • Resisitivty / Conductivity
    • Seebeck Coefficient

TFA Evaluation

Application

l’exemple d’application: Bismuth Antimony film

Measurements of a 110 nm thick Bismuth Antimony film prepared by thermal evaporation under vacuum conditions from -160°C up to +140°C.

TFA Applikation Bismuth Antimony film

TFA Applikation Bismuth Antimony film

TFA Applikation Bismuth Antimony film

Téléchargement

Linseis Produktbroschüre TFA

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Linseis Produktbroschüre Thermal Conductivity

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Linseis Produktbroschüre Thermal Electrics

Brochure produit (2Mb)

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