TFA – caractérisation des couches minces

conductivité thermique, résistivité électrique, conductivité électrique, effet Seebeck, effet Hall et émissivité des couches minces

Nouvelles possibilités analytiques excitantes

Révolutionnaire : le nouvel analyseur des propriétés physiques des couches minces

L’analyseur couche mince de Linseis est la solution idéale pour caractériser une grande diversité d'échantillons de couches minces avec un maximum de confort dans un minimum de temps. C’est un appareil qui a été travaillé pour être le plus ergonomique possible et donnant des résultats de la plus haute qualité grâce à un système autonome unique et en attente d’un brevet.

L’avantage certain que ce système vous apporte, c’est qu’il peut déterminer simultanément toutes les propriétés physiques intéressantes d’un échantillon.


Les caractéristiques techniques principales :

Système haute qualité et facile à utiliser pour la caractérisation des couches minces (nm jusqu’à plusieurs µm) Mesures en fonction de la température (170 à 200°C, avec option 300°C) Préparation et manipulation aisée de l’échantillon Grande variabilité de l’échantillon en ce qui concerne son épaisseur, sa résistivité et les méthodes de dépôt Toutes les analyses s’effectuent dans une seule mesure et sur un seul échantillon Analyse d’échantillons métalliques, céramiques ou organiques

 

Appareil de base:

Se compose de la chambre de mesure, d’une pompe à vide, d’un porte-échantillon de base avec chauffage inclus, l’électronique de mesure, l’amplificateur intégré lock-in, l'électronique et le logiciel d'évaluation de la méthode 3w.d’un PC et d’un logiciel Linseis. La conception est optimisée pour mesurer les propriétés physiques suivantes: 

• λ- conductivité thermique (état ​​d'équilibre / dans le plan) 

• ρ - résistivité électrique 

• σ - la conductivité électrique 

• S - Coefficient Seebeck 

• ε – émissivité

• Cp –capacité thermique


Ensemble « aimant »: 

Electro-aimant optionnel pour la mesure de paramètres suivants : 

• AH– Constante de Hall

• μ - Mobilité (calcul selon différents modèles)

• n - concentration de porteurs de charge (calcul selon différents modèles)


Les propriétés thermophysiques des couches minces sont différentes de celles du matériau en bulk

• Due aux effets de surface prédominant due aux rapports surface-volume plus important
  des couches minces (par exemple aux effets tels que la dispersion aux interfaces

• Due au confinement quantique