{"id":42304,"date":"2024-07-22T07:32:38","date_gmt":"2024-07-22T05:32:38","guid":{"rendered":"https:\/\/www.linseis.com\/messgeraete\/conductividad-termica\/tfa\/"},"modified":"2026-03-18T14:53:17","modified_gmt":"2026-03-18T13:53:17","slug":"tfa-l59","status":"publish","type":"messgeraete","link":"https:\/\/www.linseis.com\/es\/productos\/propiedad-electrica\/peliculas-finas-analisis-de-peliculas-finas\/tfa-l59\/","title":{"rendered":"TFA L59"},"content":{"rendered":"\t\t
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Descripci\u00f3n de la<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Al grano<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\tPosibilidades apasionantes<\/strong> Revolucionario sistema de medici\u00f3n para determinar las propiedades f\u00edsicas de las pel\u00edculas finas. Plataforma de medici\u00f3n altamente integrada y f\u00e1cil de usar.\n\nLas propiedades f\u00edsicas de las l\u00e1minas delgadas difieren de las de los materiales s\u00f3lidos, \u00a1ya que los efectos superficiales par\u00e1sitos son mucho m\u00e1s dominantes debido a las dimensiones m\u00e1s peque\u00f1as y a las elevadas relaciones de aspecto!\n
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  • <\/i>Influencia creciente de la dispersi\u00f3n superficial (a)<\/li>\n \t
  • <\/i>Dispersi\u00f3n adicional del l\u00edmite de grano (b)<\/li>\n \t
  • <\/i>Efectos de cuantificaci\u00f3n para capas muy finas (c)<\/li>\n<\/ul>\n\"\"\n\nEl Analizador de capas finas LINSEIS TFA L59<\/strong> es la herramienta perfecta para caracterizar una amplia gama de muestras de capas finas de forma extremadamente c\u00f3moda y r\u00e1pida. Es un sistema de sobremesa f\u00e1cil de usar y, gracias a su dise\u00f1o de medici\u00f3n pendiente de patente, ofrece resultados muy precisos.\n\nComponentes<\/strong> La plataforma consta de un chip de medici\u00f3n, sobre el que se deposita la muestra que se va a analizar, y una c\u00e1mara de medici\u00f3n para proporcionar las condiciones ambientales necesarias. Dependiendo de la aplicaci\u00f3n, la configuraci\u00f3n puede ampliarse con un amplificador lock-in y\/o un electroim\u00e1n potente. Las mediciones suelen realizarse en UHV, por lo que la temperatura de la muestra puede controlarse entre -160 \u00b0C y +280 \u00b0C durante la medici\u00f3n, utilizando LN2<\/sub> y potentes calentadores.\n\nChips de medici\u00f3n preestructurados<\/strong> El chip de medici\u00f3n combina la t\u00e9cnica 3-omega para la medici\u00f3n de la conductividad t\u00e9rmica con una disposici\u00f3n Van der Pauw de 4 puntos para medir las propiedades de transporte el\u00e9ctrico. El coeficiente Seebeck puede determinarse con term\u00f3metros de resistencia integrados adicionales situados cerca de los electrodos Van der Pauw. Esta configuraci\u00f3n permite una caracterizaci\u00f3n completa y casi simult\u00e1nea de todas las propiedades en una sola muestra preparada mediante PVD (p. ej., evaporaci\u00f3n t\u00e9rmica, pulverizaci\u00f3n cat\u00f3dica, MBE), CVD (p. ej., ALD), recubrimiento por rotaci\u00f3n, colada gota a gota o impresi\u00f3n por chorro de tinta en un solo paso. Para facilitar la preparaci\u00f3n de la muestra en el chip de medici\u00f3n, se puede utilizar una m\u00e1scara de l\u00e1mina pelable o una m\u00e1scara de sombra met\u00e1lica.\n\n\"\"\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t
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    Otra gran ventaja de este sistema es la determinaci\u00f3n simult\u00e1nea de todas las propiedades f\u00edsicas en una sola medici\u00f3n. Todas las mediciones se realizan en la misma direcci\u00f3n (en el plano) y, por tanto, son coherentes y \u00f3ptimamente comparables para su posterior evaluaci\u00f3n (por ejemplo, la determinaci\u00f3n de la figura de m\u00e9rito termoel\u00e9ctrica ZT o la investigaci\u00f3n de los procesos de curaci\u00f3n).<\/p>

    1. Medici\u00f3n de Van<\/strong> der Pauw<\/strong> El m\u00e9todo de Van der Pauw se utiliza para determinar la conductividad el\u00e9ctrica (\u03c3) y la constante de Hall(AH<\/sub>) de la muestra. Una vez depositada la muestra en el chip, ya est\u00e1 conectada el\u00e9ctricamente a cuatro electrodos situados en su borde. Para la medici\u00f3n, ahora se aplica una corriente entre dos de los contactos y se mide la tensi\u00f3n resultante entre los dos contactos restantes. Intercambiando c\u00edclicamente los contactos en el sentido de las agujas del reloj y repitiendo el procedimiento, se puede calcular la resistencia de l\u00e1mina de la muestra mediante la ecuaci\u00f3n de Van der Pauw. Aplicando un campo magn\u00e9tico perpendicular a la superficie de la muestra y midiendo el cambio en la resistencia diagonal de Van der Pauw, se puede calcular la constante de Hall de la muestra y, a partir de ella, la densidad de portadores de carga y la movilidad de Hall.<\/p>

    2. medici\u00f3n del coeficiente<\/strong> Seebeck Para determinar el coeficiente Seebeck, se acoplan al chip un term\u00f3metro adicional y un calentador de l\u00ednea cerca de la muestra. Esta configuraci\u00f3n permite medir la tensi\u00f3n termoel\u00e9ctrica a diferentes gradientes de temperatura a lo largo de la muestra, lo que puede utilizarse para calcular el coeficiente Seebeck S =-Vth\/\u2206T<\/sub>.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t

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    3. m\u00e9todo de medici\u00f3n del hilo calefactor<\/strong> Para determinar la conductividad t\u00e9rmica en el plano se utiliza una estructura \u00fanica de membrana de cinta caliente. En este montaje, se utiliza una tira met\u00e1lica microestructurada como calentador y sensor de temperatura en uno. La muestra se deposita directamente sobre la membrana autoportante para la medici\u00f3n. Para la medici\u00f3n, se suministra una corriente a la tira met\u00e1lica, que se calienta como resultado del calentamiento Joule. Debido al aumento de temperatura, la resistencia del hilo cambia y, por tanto, puede utilizarse para medir la temperatura. A partir de este cambio de resistencia y del conocimiento de la geometr\u00eda de la membrana, se puede calcular la conductividad t\u00e9rmica de la muestra. Seg\u00fan la muestra, tambi\u00e9n puede medirse el calor espec\u00edfico. Para obtener resultados de alta calidad, el producto del grosor de la muestra y la conductividad t\u00e9rmica de la misma debe ser igual o superior a 2\u00d710-7W\/K<\/sup>.<\/p>\n

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    Dise\u00f1o modular<\/strong> El dispositivo b\u00e1sico (optimizado para medir la conductividad t\u00e9rmica) puede ampliarse opcionalmente con un kit termoel\u00e9ctrico para medir la conductividad el\u00e9ctrica y el coeficiente Seebeck y\/o con el kit de ampliaci\u00f3n magn\u00e9tica para medir la constante de Hall, la movilidad y la concentraci\u00f3n de portadores de carga.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t

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    Configuraciones del sistema<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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    Sistema b\u00e1sico \/ Kit termoel\u00e9ctrico \/ Kit magn\u00e9tico \/ Opci\u00f3n refrigeraci\u00f3n<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t
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    Existen las siguientes opciones para el Analizador de capa fina LINSEIS (TFA L59<\/strong>):<\/p>

    Dispositivo<\/strong> b\u00e1sico Compuesto por c\u00e1mara de medici\u00f3n, bomba turbomolecular, portamuestras con calefacci\u00f3n integrada, amplificador lock-in integrado en el sistema para el m\u00e9todo de medici\u00f3n 3w, PC y paquete de software LINSEIS (incluye software de medici\u00f3n y evaluaci\u00f3n). El dise\u00f1o est\u00e1 optimizado para la caracterizaci\u00f3n de las siguientes propiedades f\u00edsicas:<\/p>