X

Dünnschichttechnik

Mit der Dünnschichttechnik lassen sich sehr dünne Ebenen aus unterschiedlichsten Materialien wie metallischen, dielektrischen oder halbleitenden Werkstoffen erzeugen. Die Abscheidung der Schichten erfolgt meist mithilfe physikalischer und chemischer Beschichtungsverfahren. Danach werden sie mittels fotolithografischer Prozesse strukturiert und anschließend geätzt. Die Schichtdicken liegen zwischen wenigen Mikrometern bis hinein in den Nanometerbereich.

Bekannt sind entsprechende Beschichtungen aus der Halbleitertechnik, der Nanotechnologie und der Produktion von Flüssigkristall-Bildschirmen (LCD). Weitere Einsatzfelder finden sich im Bereich Solarmodule, bei der Herstellung von Sensoren und in der Medizintechnik.

Um eine Isolationsschicht, eine Funktionsschicht, eine Schutzschicht oder mehrere dieser Ebenen übereinander in der gewünschten Stärke und mit den benötigten Leistungsmerkmalen erzeugen zu können, bedarf es einer hohen Präzision und des Wissens um die thermischen und elektrischen Eigenschaften der verwendeten Materialien. Bei der Produktentwicklung, der Prozesskontrolle und der Qualitätssicherung müssen deshalb geeignete Prüfverfahren zur Anwendung kommen, die exakte Messergebnisse liefern und eine genaue Analyse der Ausgangsstoffe und der daraus bestehenden Dünnfilme ermöglichen.

Angefangen von Laser-Dilatometern über Hall-Effekt- und LaserFlash-Messgeräte bis hin zu speziellen Thin-Film-Analyzern bietet LINSEIS eine breite Produktpalette, die sich im Bereich der Dünnschichttechnik vielseitig einsetzen lässt.

DIL L75 Laser

DIL-L75_Laser
  • Weltweit einziges, kommerziell erhältliches absolutes Dilatometer
  • Kein Nulllauf erforderlich
  • Auflösung 0,3 nm (300 Picometer)
  • Temperaturbereich: -180 bis 1000°C
Details

L79 HCS

Hall L79 HCS

Das L79 / HCS-System ermöglicht die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen und misst dabei die Hall-Mobilität, den spezifischen Widerstand, die Ladungsträger-konzentration sowie den Hall-Koeffizienten der Probe.

Details

LSR-3

LSR-3
  • Unser weltweit bewährtes Messsystem für die Thermoelektrik
  • Messung des Seebeck-Koeffizienten und elektrische Leitfähigkeitsmessung (LSR)
  • Vielfältige Erweiterungsmöglichkeiten (Harman Methode, Impedanzspektroskopie)
  • Vollmaterialien, Folien und Dünnschichten
  • Temperaturbereich von -100°C bis +1500°C
Details

TFA

TFA
  • Umfassende Charakterisierung von Dünnschichten von der nm– bis zur μm-Skala
  • Einzigartige und patentierte Lab-on-a Chip Technik
  • Messung des Wärmeleitfähigkeit, des spezifischen Widerstandes, des Seebeck-Koeffizienten und der Hall-Konstante
Details

TF-LFA

TF-LFA

TF-LFA – Time Domain Thermoreflectance (TDTR) – Mesung der Temperaturleitfähigkeit an Dünnschichten

Details

LFA 500

LFA-500

LFA 500 – LightFlash Analyzer – Das robuste Arbeitspferd

Temperaturbereich:

  • -100 bis 500°C
  • RT bis 500°C/1000°C/1250°C
Details

LFA 1000

LFA-1000

LFA 1000 – True LaserFlash Analyzer – Das Premium-Gerät

Temperaturbereich:

  • -125 bis 500°C
  • RT bis 1250°C/1600°C/ 2000°C/2800°C
Details

LZT Meter

LZT-Meter
  • LZT-Meter – Perfektes Werkzeug für thermoelektrische Anwendungen
  • Kombinierter LSR + LFA

Temperaturbereich:

  • -150 bis 500°C
  • RT bis 800/1100/1500 ° C
Details