باستخدام LFA، من الممكن أيضًا قياس العينات ذات الطبقات المتعددة، حيث يمكن توصيف طبقتين أو ثلاث طبقات. ولهذا الغرض، يوفر البرنامج أداة متعددة الطبقات يمكنها تحليل خصائص الطبقات الفردية.
يوضِّح الرسم البياني أعلاه باللون الأزرق قياس LFA للانتشار الحراري لعينة متعددة الطبقات تتكون من ركيزة وطلاء يبلغ طوله 60 ميكرومترًا تقريبًا. يُظهر انخفاضًا ثابتًا تقريبًا في الانتشار مع درجة الحرارة. ثم تم تحليل قياس العينة الكاملة باستخدام الأداة متعددة الطبقات. للقيام بذلك، من الضروري معرفة سُمك كل من الركيزة والطلاء. بالإضافة إلى ذلك، فإن
